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發(fā)布時間：2020-07-23 08:58
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電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機(jī)箱與傳感模塊組成，可組成多測量通道數(shù)。
模塊化設(shè)計、自由組拼、高分辨率、模擬輸出、非接觸式測量。
它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標(biāo)形成的兩個電極，采用保護(hù)環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。
