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催化燃燒過程是在催化燃燒設備中進行的。有機廢氣先經過熱交換器預熱到200～400℃，再進入燃燒室，經過催化劑床時，碳氫化合物的分子和混合氣體中的氧分子分別被吸附在催化劑的外表而活化。因為外表吸附降低了反響的活化能，碳氫化合物與氧分子在較低的溫度下敏捷氧化，發生二氧化碳和水。 在運用脫附 催化燃燒時，應將催化燃燒室溫度升至工作溫度后，然后再對活性炭進行逐漸升溫脫附。這樣才能將廢氣有效的脫附出來進行下一步催化燃燒。但是使用總會出現這樣那樣的問題。

催化燃燒設備中的催化劑是很重要的，不但關系到廢氣的處理效果，更重要的是關系到設備的運行成本。有時會出現催化燃燒設備中的催化劑失活的現象，是什么原因呢？

一、催化劑高溫燒結

催化劑反應溫度過高會導致催化劑表面活性組分的燒結（粒子變大），催化劑比表面下降、過渡金屬氧化物之間的固相反應，及其相變的發生，這些均為導致催化劑活性的下降，因此在使用過程應避免催化劑的高溫沖擊。

二、催化劑表面結炭

在實驗室中通常采用模型反應來評價催化劑性能，也可以采用混合溶劑來測試催化劑的性能，一般很難觀察到表面積炭。然而在實際使用中，VOCs的組分非常復雜，有大分子的，小分子的，有高沸點的，低沸點，揮發性有機物的性質差別很大。還含有少量的漆霧、粉塵等物質。特別是漆霧和高沸點有機物的存在，使得在催化劑表面形成結炭，結果使得催化劑活性的下降。

常見催化燃燒有機廢氣凈化方法：

1、廢氣凈化直接燃燒法直接燃燒法就是利用燃氣等輔助性材料將廢氣點燃，促使其中的有害物質在高溫燃燒下轉變成無害物質，該方法投資小，操作簡單，適用于濃度高、風量小的廢氣，但其安全技術要求較高。

2、廢氣凈化催化燃燒法催化然后就是將廢氣加熱經催化燃燒后轉變成無害的二氧化碳和水。該方法適用于溫度高、濃度高的有機廢氣凈化處理中，其具有燃燒溫度低、節能、凈化率高、占地面積少等優點，但投資較大。

不同的有機廢氣成分、濃度適用不同的有機廢氣處理方式，目前綜合技術成熟性、經濟性以及設備維護等多方面因素，應用廣泛的還是活性炭吸附法。