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微電子技術中使用的超純氣體有幾十種，除氧、氫、氮、二氧化碳、等常見氣體外，還有烷、三氯化硼、、四氟化碳等自然界不存在的氣體。所用化工產品的純度對半導體成品的影響很大。使用工業氣體時，成品率只有10%；使用含雜質小于10ppm的氣體和相應的高純化學劑時，則成品率可提高到70%～80%。例如，等，過去以電石為原料，這時改用氧氯化法以乙烯生產，用氨氧化法以生產。1951年，以為原料，用蒸汽轉化法得到及氫，使得到重視。

化工原料的分類：

　　化工網專門認為化工原料一般可以分為有機化工原料和無機化工原料兩大類：有機化工原料可以分為烷烴及其衍生物、烯烴及其衍生物、炔烴及衍生物、醌類、醛類 、醇類、酮類 、酚類、醚類、酐類 、酯類、有機酸、羧酸鹽、碳水化合物 、雜環類、腈類 、鹵代類 、胺酰類、其它種類;無機化工原料可以分為無機酸、無機堿、無機鹽、氧化物、單質、工業氣體和其它種類。

改性樹脂(Acrylic)：甲酯經聚合而成得高分子化合物。有熱塑性。由本體聚合而制得的固體聚合物，俗稱有機玻璃。由懸浮聚合制得的樹脂。　　氫氧化鋁：白色單斜晶體。無臭，無味，密曲2.42。在300℃時失去水份，不溶于水和乙醇。是典型的氫氧化物。溶于熱鹽酸、硫酸和堿類。主要用于制聚氨酯(泡沫塑料和橡膠)，也可制聚酰纖維、膠粘劑和涂料。