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真空鍍膜機真空室形變帶來的影響

為盡量減小真空鍍膜機真空室形變帶來的影響，我們將導(dǎo)軌、絲桿等傳動件固定于一個剛性的中間層上，其與真空室底壁之間采用點、線、面活性支撐，以吸收和隔離形變，并設(shè)置形變補償調(diào)節(jié)機構(gòu)，在系統(tǒng)抽真空之前，參照有限元計算提供的理論數(shù)據(jù)預(yù)設(shè)適當(dāng)?shù)难a償量，以使其在真空狀態(tài)下達(dá)到平衡。

為了驗證有限元計算的結(jié)果，對真空室的形變和補償進(jìn)行了測試。首先，將四只千分表定位在工作臺安裝基點的真空壁外側(cè)，當(dāng)真空室由大氣抽到真空時，記錄各千分表的變化量，經(jīng)處理后為用激光自準(zhǔn)直儀調(diào)整設(shè)備形變補償。

由水平調(diào)整的自準(zhǔn)直儀發(fā)出一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定于工作臺上的反射鏡，在大氣環(huán)境下調(diào)整設(shè)備形變補償調(diào)節(jié)機構(gòu)，使反射光束進(jìn)入自準(zhǔn)直儀接收視場，記錄兩維角度偏差。

按有限元計算的真空狀態(tài)下的補償量再次調(diào)整，顯然，此時的反射光束已遠(yuǎn)離自準(zhǔn)直儀接收視場，但一旦真空室進(jìn)入真空狀態(tài)，反射光束又重新進(jìn)入自準(zhǔn)直儀的接收視場，記錄此時的兩維角度偏差。前后兩次顯示的兩維角度偏差基本吻合。

工作臺運動副的潤滑及對真空環(huán)境的影響工作臺的掃描是處于真空室環(huán)境下的頻繁運動，除用滾動代替滑動來降低摩擦系數(shù)外，在導(dǎo)軌、絲桿等運動副之間采取良好的潤滑是保證刻蝕裝置長時間正常運行的必要條件。

真空中的潤滑的方式通常有鍍固體潤滑膜和直接使用潤滑劑等鍍膜容易破壞導(dǎo)軌的運動精度，且工藝復(fù)雜。

為此，我們測試了一種市場商品――二硫化鉬潤滑劑的潤滑效果，將該潤滑劑直接噴涂在運動副表面，并用四極質(zhì)譜儀分析了該潤滑劑在真空中揮發(fā)出的氣體的主要成分。

真空鍍膜機薄膜均勻性概念

1.厚度上的均勻性：也能夠理解為粗糙度，在光學(xué)薄膜的標(biāo)準(zhǔn)上看（也即是1/10波長作為單位，約為100A），真空鍍膜機的均勻性現(xiàn)已相當(dāng)好，能夠輕松將粗糙度操控在可見光波長的1/10范圍內(nèi)，也即是說關(guān)于薄膜的光學(xué)特性來說，真空鍍膜沒有任何妨礙。

2.化學(xué)組分上的均勻性：即是說在薄膜中，化合物的原子組分會由于標(biāo)準(zhǔn)過小而很簡單的發(fā)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，假如鍍膜進(jìn)程不科學(xué)，那么實踐外表的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的份額，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也是真空鍍膜的技能含量地點。

3.晶格有序度的均勻性：這決議了薄膜是單晶，多晶，非晶，是真空鍍膜技能中的熱點問題。

多片式比較片裝置的設(shè)計特點

1)固定筒圓筒形狀、大直徑、厚壁結(jié)構(gòu)的設(shè)計和周向?qū)ΨQ的固定方式，可保證其有足夠的強度和剛度，同時，還可阻止高溫濺射磨料對其內(nèi)部零部件污染，保證撥動盤轉(zhuǎn)動的靈活性。

2)圓形軸承座的設(shè)計，保證軸承座安裝的密封性和垂直度；增大軸的直徑尺寸，加大軸承座中兩軸承的安裝間距，提高其自身的強度和剛度，保證轉(zhuǎn)動過程中軸1的剛度和撥動盤的旋轉(zhuǎn)靈活性、位置重復(fù)的一致性。

3)裝載換位機構(gòu)，通過擴大支承盤的直徑，使該機構(gòu)在平面方向的有效面積增大，可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片，有利于光路調(diào)整，提高光學(xué)薄膜質(zhì)量；比較片由單片玻璃作為一個比較片單元，比較片采用空間立體疊加安裝方式，多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒內(nèi)，實現(xiàn)一次可放置50~100片比較片，解決鍍膜機鍍制多層精密光學(xué)薄膜，比較片數(shù)量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問題。

4)定位盤與槽型光藕的配合，通過槽型光藕來感知定位盤上三個均分的120°狹縫，控制電機轉(zhuǎn)動停止。軸1旋轉(zhuǎn)定位重復(fù)的一致性得到保證，帶動撥動盤完成準(zhǔn)確的撥片動作。

5)轉(zhuǎn)動密封饋入機構(gòu)引入威爾遜密封機構(gòu)，既保證電機通過齒輪嚙合帶動軸的靈活轉(zhuǎn)動，又保證真空室對外部的密封作用。優(yōu)化設(shè)計的真空鍍膜機多片式比較片裝置，其特點：(1)結(jié)構(gòu)簡單，強度高，可靠性好；(2)比較片裝載數(shù)量大，生產(chǎn)效率提高，可鍍制超多層精密光學(xué)薄膜；(3)比較片直徑增大，提高薄膜監(jiān)控的精度，降低對硬件系統(tǒng)的要求，系統(tǒng)容易實現(xiàn)自動控制；