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發布時間:2020-07-31 14:54  
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業內普遍認為,混合固態激光雷達指用半導體“微動”器件(如MEMS掃描鏡)來代替宏觀機械式掃描器,在微觀尺度上實現雷達發射端的激光掃描方式。MEMS掃描鏡是一種硅基半導體元器件,屬于固態電子元件;但是MEMS掃描鏡并不“安分”,內部集成了“可動”的微型鏡面;由此可見MEMS掃描鏡兼具“固態”和“運動”兩種屬性,故稱為“混合固態”。