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發布時間:2021-06-01 06:45  
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真空泵的結構
真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。立式結構的進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。在高速運轉時穩定性差,故這種型式多用于小泵。臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制,轉子裝配方便,泵占地面積小。但泵較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構也相對復雜。
真空泵選型方法
1、真空泵的極限壓力應該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個數量級。
2、每種泵都有一定的工作壓力范圍,因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。
3、真空泵在其工作壓力下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響,若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
真空泵的應用
1、主泵。在真空系統中,用來獲得所要求的真空度的真空泵。
2、粗抽泵。從大氣壓開始,降低系統的壓力達到另一抽氣系統開始工作的真空泵,
3、前級泵用以使另一個泵的前級壓力維持在其許可的前級壓力以下的真空泵。前級泵也可以做粗抽泵使用。
4、維持泵。在真空系統中,當抽氣量很小時,不能有效地利用主要前級泵,為此,在真空系統中配置一種容量較小的輔助前級泵,維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。
簡析真空技術的應用與發展
冶金工業:冶金工業需用到的真空技術包括鋼液真空處理、真空熔煉、真空感應熔煉、感應殼熔煉、真空電弧重熔等。其中,真空鋼液處理是冶金工業很重要的一方面。這項技術主要應用于原子能工業,宇宙空間技術、海洋鉆探技術、燃氣發動機技術、汽車工業、飛機制造業、高速列車等高技術工業中,對鋼中的某些元素進行控制和處理,對鋼鐵材料的壽命、可靠性提出了越來越高的要求。目前各種應用行業擁有現代化的真空處理設備,大大降低了鋼中氮、氫、氧等雜質的含量,處理水平也不斷提高。美、日、德等國已經將此項技術作為國家標準,并對其軸承鋼、電工用鋼和大型鍛件采用100%的真空脫氣處理,完成現代化鋼鐵工業的基本要求。
電子與微電子工業:微電子技術要求電子元器件和電路的尺寸越來越小,集成度要求越來越高。這與真空技術的應用密不可分,特別是超大規模集成電路的微細加工技術,其幾何圖形結構的形成、超薄層生長技術、粒子束注入技術都需要高質量、清潔的真空環境,可見其發展對真空技術、裝備的依存性。目前,日本真空廠商的銷售額中60%左右是面向電子工業,而當今的超大規模集成電路大約有3/4的工序需要有真空條件。
機械制造行業:這是一個帶動性強、帶動作用廣的產業,目前歐債危機的陰霾仍未散去,各國積極將機械制造產業作為提振經濟的重點。它的技術應用一般集中在真空熱處理、真空釬焊、真空涂層刀具等傳統領域。真空熱處理是指將真空技術與熱處理技術緊密結合的新型熱處理技術。它對工具、模具和精密耦件的處理可起到提高使用壽命、加速化學熱處理的吸附和反應過程等特點。另外,它本身工藝操作靈活、無公害的特點成為行業常用的處理手段。