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發(fā)布時間：2020-12-18 19:51
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此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因?yàn)榛瘜W(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時間比較短，對反應(yīng)需要一定時間的清洗效果不好。在噴洗過程中所使用的化學(xué)試劑很少，對控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。
隨著集成電路制程工藝節(jié)點(diǎn)越來越先進(jìn)，對實(shí)際制造的幾個環(huán)節(jié)也提出了新要求，清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。
清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小，半導(dǎo)體對雜質(zhì)含量越來越敏感，而半導(dǎo)體制造中不可避免會引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對芯片良率的影響，實(shí)際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率，還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗，清洗步驟約占整體步驟的33%。
噴淋臂軸套存在且未受損：確保所有軸套、聯(lián)軸器、墊圈等存在且無任何裂痕或破損。
? 清洗劑/化學(xué)品輸送管道清晰、功能正常：目視檢查所有清洗劑等化學(xué)品輸送管道和連接端口：確保它們清晰，清潔，無阻塞、滯留空氣、扭結(jié)。管道上的磨損痕跡、破損或泄漏也應(yīng)注意檢查。如果輸送管道有缺陷，則清洗液的濃度可能不正確從而使清洗循環(huán)無效。
旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)簡介
1.設(shè)備特點(diǎn)
1.1本設(shè)備根據(jù)待洗零件種類多，數(shù)量少的特點(diǎn)，采用單工位式清洗、吹干的方式；
1.2零件經(jīng)人工手推進(jìn)入清洗腔室，布置在清洗腔室內(nèi)的噴淋管對工件作大流量噴淋，覆蓋無盲區(qū)；
1.3清洗采用連續(xù)噴洗式，清洗沖刷力強(qiáng)勁。
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3.清洗工藝流程
3.1清洗機(jī)動作描述：工件經(jīng)工人裝入清洗機(jī)入清洗腔→關(guān)閉密封門→雙手按下啟動按鈕→噴淋管開始工作→工作轉(zhuǎn)臺360度旋轉(zhuǎn)。）→清洗結(jié)束后管道自動切換到吹氣系統(tǒng)→對工件進(jìn)行脈沖狀的切水處理→切水結(jié)束后密封門打開→人工下料
適用：該設(shè)備適用于汽車、工程機(jī)械、航空航天等行業(yè)的各類結(jié)構(gòu)復(fù)雜五金零件、油泵閥體清洗。
