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b) 熱氧化法。熱氧化法當前分為三種：熱力燃燒式、間壁式、蓄熱式。三種方法的主要區別在于熱量回收方式。這三種方法均能催化法結合，降低化學反應的反應溫度。熱力燃燒式熱氧化器，一般情況下是指氣體焚燒爐。這種氣體焚燒爐由助燃劑、混合區和燃燒室三部分組成。其中，助燃劑，比如、石油等，是輔助燃料，在燃燒過程中，焚燒爐內產生的熱混合區可對VOC廢氣預熱，預熱后便可為有機廢氣的處理提供足夠空間、時間，終實現有機廢氣的無害化處理。

蓄熱式廢氣處理爐（RTO）適用于大風量、低濃度，適用于有機廢氣濃度在100PPM—20000PPM之間。其操作費用低,有機廢氣濃度在450PPM以上時，RTO裝置不需添加輔助燃料；凈化率高，兩床式RTO凈化率能達到98%以上，三床式RTO凈化率能達到99%以上，并且不產生NOX等二次污染；全自動控制、操作簡單；安全性高。

這種處理方法主要適用于濃度高且溫度比較低的有機廢氣處理。通常適用于VOC含量高（百分之幾），氣體量較小的有機廢氣的回收處理，由于大部分VOC是氣體，受到極限的限制，氣體中的VOC含量不會太高，所以要達到較高的回收率，需采用很低溫度的冷凝介質或高壓措施，這勢必會增加設備投資和處理成本，因此，該技術一般是作為一級處理技術并與其它技術結合使用。