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              發(fā)布時間:2020-12-26 14:05  

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              【新聞資訊】

              據(jù)悉,這家名叫Gigaphoton的日本公司6月24日宣布,開發(fā)出了用于制造平板顯示器(FPD)的很小激光退火工序用準分子激光器“GIGANEX”系列。這是一款應用高可靠性半導體光刻用準分子激光器的退火用準分子激光器,是zhuan供V-Technology制造的裝置使用的專用機。有機EL的每個像素(子像素)設置2個晶體管和1個電容,液晶的各像素(子像素)設置1個晶體管和1個電容器。通過導入已有的a-Si(非晶硅)面板制造工序,使a-Si向p-Si(多晶硅)結晶化,可制造用以往a-Si無法制造的8K等高精細面板。

              另外還可實現(xiàn)以往激光退火工藝無法實現(xiàn)的大型面板尺寸的制造,可滿足制造50~70英寸TV面板的大尺寸液晶制造設備工廠的要求。

              不久前將該激光器配備在日本V-Technology公司的很小激光退火裝置上,供貨給了大尺寸液晶屏制造設備工廠用于LTPS(低溫多晶硅)TFT液晶面板制造。







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