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              發(fā)布時(shí)間:2020-12-22 09:55  

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                   潔凈廠房無(wú)塵室測(cè)試目的是什么呢?其中很大部分業(yè)主都是根據(jù)凈化工程開(kāi)始的設(shè)想來(lái)完成測(cè)試的指標(biāo),當(dāng)然這是直截了當(dāng)?shù)哪繕?biāo)及方法,畢竟我們?cè)诮ㄔO(shè)無(wú)塵室的意愿也是如此,要達(dá)到我們的空氣潔凈度有需求。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。在單流向型無(wú)塵室,風(fēng)速測(cè)量的位置可由業(yè)主預(yù)定,一般是在濾網(wǎng)表面或是工作高度。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測(cè)量(濾網(wǎng)表面)或是無(wú)塵室室內(nèi)風(fēng)速測(cè)量(工作高度)。潔凈廠房,無(wú)塵室,潔凈室--潔凈廠房無(wú)塵室測(cè)試目的。


                  無(wú)塵室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。洗滌衣置放場(chǎng)所須為潔凈室,備用品或新品存放柜內(nèi),正使用者則吊掛衣架上,以為方便取用。無(wú)塵室系利用HEPA、ULPA過(guò)濾空氣,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而無(wú)塵室內(nèi)除了人以外,尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散,即無(wú)法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。


                   影響無(wú)塵室的氣流因素很多,如制程設(shè)備、人員、無(wú)塵室組裝材、照明器具等,同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),亦應(yīng)列入考慮因素。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí),不僅僅是向無(wú)塵室外排氣,負(fù)離子檢測(cè)儀而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無(wú)塵室內(nèi)之對(duì)策。一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn),應(yīng)設(shè)于無(wú)塵室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時(shí),氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至鳎藭r(shí)大部分的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺(tái)因而將受到污染,良率也勢(shì)必降低。


                  潔凈室用鞋要合腳且穿起來(lái)舒適為基本條件,容易洗滌,底則采用塑膠底,布質(zhì)部分則采用與潔凈衣相同材質(zhì)即可,鞋子穿著時(shí)潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹(shù)脂(Vinyl),在使用過(guò)程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用,手套表面有粉質(zhì)時(shí)須去除或停用,原則上以使用無(wú)粉之Vinyl手套為佳。(清潔急救網(wǎng)合作工廠伙伴為清潔同行提供無(wú)塵車(chē)間實(shí)地演示)無(wú)塵衣、鞋、帽子等須由專人管理,并定期做清洗,清洗須在潔凈室內(nèi)進(jìn)行,并以純水配合清潔溶劑,并經(jīng)約0.2μm過(guò)濾器為之,一般洗滌周期視清潔度等級(jí)而定,在高潔凈區(qū)為2~3天,其他區(qū)域則為5天~1星期,洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。洗滌衣置放場(chǎng)所須為潔凈室,備用品或新品存放柜內(nèi),正使用者則吊掛衣架上,以為方便取用。2μm過(guò)濾器為之,一般洗滌周期視清潔度等級(jí)而定,在高潔凈區(qū)為2~3天,其他區(qū)域則為5天~1星期,洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。


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