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層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，1塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

優(yōu)點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。

缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。

   20世紀80年代大規(guī)模集成電路和超大規(guī)模集成電路的迅速發(fā)展，大大促進了潔凈工程的發(fā)展，集成電路生產(chǎn)工程從64K位到4M位，特征尺寸從2.04m到0.84m。當時根據(jù)實踐經(jīng)驗，通常空氣潔凈受控環(huán)境的控制塵粒粒徑與線寬的關系為1:10，因此潔凈工程工作者研制了超空氣過濾器，可將粒徑>0.1pm的微粒去除到規(guī)定范圍。根據(jù)大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的需要，高純氣體、高純水和高純試劑的生產(chǎn)工程也得到很快的發(fā)展，從而使服務于集成電路等高工程產(chǎn)品所需的潔凈工程都得以高速發(fā)展。

ps：技術人員應提前了解如下幾點

（1）項目類型：是改造還是新建項目；

（2）結構類型：鋼結構、鋼筋混凝土框架結構、磚混結構；

（3）土建參數(shù)：層高、板底標高、梁底標高；

（4）現(xiàn)有條件：水、電、路三通情況如何；

（5）潔凈室項目主要情況（用途、生產(chǎn)規(guī)模、現(xiàn)代化程度、設備情況、人員安排）；

一個好的凈化工程，不僅有好的規(guī)劃布局、高的操作標準，更要有可靠的工程團隊、的施工進度。選擇專業(yè)的廠房裝修公司，經(jīng)費就花對了一大半。