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光催化設備

光催化設備可將有機物轉化成無產品。將半導體用作為光催化劑，利用天然的光能，對廢氣處理設備中的廢氣進行光能的處理，對有用資源進行循環利用，無用的廢氣經過光能的處理后降低了污染并排入到空氣中。

一、催化燃燒設備

燃燒法用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質燃燒，大多數生成二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。但當處理含氯和含硫的有機化合物時，燃燒生成產物中HCl或SO2，需要對燃燒后氣體進一步處理。

二、低溫等離子設備

這種廢氣處理設備是近年來發展起來的新廢氣處理設備。低溫等離子體有機廢氣處理就是利用介質放電所產生的等離子體以極快的速度反復轟擊廢氣中的有機廢氣，去、電離、裂解廢氣中的各種成分，通過氧化等化學反應，使復雜的大分子有機廢氣轉變為一些小分子的安全物質。

舊式的顆粒活性碳固定床吸附VOCs技術具有的床層損力大，吸附率低的特點，采用蒸汽再生等消極因素限時了這項技術的大幅度實踐。而蜂窩狀活性炭比粒狀活性炭(GAC)則有效的解決了活性炭吸附裝置連續工作困難的問題，其所具備的熱空氣再生，床層阻力小的進步性與高投入，耗能高，占地面積大等特性，使得廣大中小企業無力承擔費用，限制了其只能在大型企業中投入使用。