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              發布時間:2020-12-22 08:24  

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              多線切割機

              近年來,由于國家的重視,將極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項課題列入國家重大科技專項,另外,國內有關設備制造企業也看到了這個巨大的商機,大力投入人力物力開展艱苦的研制開發,先以模仿為主,逐漸轉向自主創新,研制出有自身知識產權的多線切割機。在國際上,游離磨料線鋸切割在單晶硅、多晶硅的切割中占主流地位,但是這種技術存在明顯的不足:線鋸走絲速度低,通常≤10m/S,切割效率低,鋸絲使用壽命短。

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              硬脆材料切割

              脆硬材料硬度高、脆性大,通常為非導體或半導體,如:各種石材、寶石、玻璃、硅晶體、石英晶體、硬質合金、陶瓷、稀土磁性材料等。硬脆材料切割加工主要工藝要求為:率、低成本、窄切縫(材料利用率高)、無損傷、無環境污染等。

              切割對象:貴重脆硬材料。

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              金剛石線切割機

              金剛石線徑的選擇:

              金剛石線徑通常根據材料的特性選擇,一般硬度高、強度大、耐磨損、耐腐蝕的材料不易被切割,因此應選用線徑較粗、金剛石顆粒大的金剛石線,以此來保證金剛石線切割機對材料的切割能力和切割速度。因此張緊機構也要具備飛輪一樣的精度,同時要有足夠的穩定性及維護性。當切割的材料易于切割時不需要很大的摩擦力便能將材料切削,因此一般選用小線徑小顆粒的金剛石線。一些時候實驗者會根據個人實驗目的或被切割材料的特性對切割線徑進行具體要求,如要求切割下來的樣品表面平整度Ra在一定范圍內或要求盡可能節約樣品,這時所用金剛石線應按規定選擇適當的線徑。



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