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              保溫杯曝光顯影廠服務至上【利成感光】

              發布時間:2021-01-07 15:52  

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              通常用循環熱風烤箱或熱風道將墨膜內的稀釋劑“趕”出去。正確掌握烘烤溫度和烘烤時間非常重要,若溫度低和時間短,膜內的溶劑揮發不掉,曝光時粘菲林,顯影時膜不牢;如果溫度過高或烘烤時間過長,由于感光樹脂產生熱交聯反應,部分雙鍵被打開,已形成網狀結構,當曝光時已失去光化學反應機能,造成感度下降;顯影時,因未曝光部分已形成網狀結構,不溶于稀堿溶液,造成顯影難。


              蝕刻曝光就是通過曝光制版、顯影后,將要蝕刻區域的保護膜去除,在蝕刻時接觸化學溶液,達到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。

              顯影是在硅片表面光刻膠中產生圖形的關鍵步驟。光刻膠上的可溶解區域被化學顯影劑溶解,將可見的島或者窗口圖形留在硅片表面。常見的顯影方法是旋轉、噴霧、浸潤,然后顯影。硅片用去離子水沖洗后甩干。



              非曝光區的光刻膠由于在曝光時并未發生化學反應,在顯影時也就不會存在這樣的酸堿中和,因此非曝光區的光刻膠被保留下來。經過曝光的正膠是逐漸溶解的,中和反應只在光刻膠的表面進行,因此正膠受顯影液的影響相對比較小。進行顯影的方式有很多種,廣泛使用的方法是噴灑方法。這種顯影方式可以分為三個階段:硅片被置于旋轉臺 上,并且在硅片表面上噴灑顯影液;然后硅片將在靜止的狀態下進行顯影;顯影完成后,需要經過漂洗,之后再烘干。


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