氦質譜真空檢漏儀公司信賴推薦「華誠浩達」

氦質譜檢漏儀簡介

專門設計的以氦氣作示蹤氣體進行檢漏的質譜儀稱為氦質譜檢漏儀，運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。質譜儀通過其核心部件質譜室，使不同質量的氣體變成離子并在某種場中運動后，不同質荷比的離子在場中彼此分開，而相同質荷比的離子在場中匯聚在一起，如果在適當位置安置接收所有這些離子，就會得到按照質荷比大小依次分開排列的質譜圖，這就是質譜。用于檢漏的質譜儀稱為質譜檢漏儀。

氦質譜檢漏儀示蹤氣體選擇

對示蹤氣體的要求：氦質譜檢漏儀都用氦氣(He)作為示蹤氣體，也有用氫氣(H2)作為示蹤氣體的質譜檢漏儀器。

氫和氦都是比較理想的示蹤氣體：空氣中的含量少，質量輕，運動速度快，同等條件下，直線運動距離長。實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。但氫氣在使用中有一定的安全問題，所以實際大部分檢漏使用的是氦氣。質譜檢漏儀器示蹤氣體一般具有以下特點：

1、無害，不能對人體或環境造成傷害。

2、質量輕，惰性氣體，能穿透微小細縫。

3、化學性質穩定，不會起化學反應。

4、Z好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。

氦質譜檢漏儀的測量數據處理介紹

漏率的溫度修正

標準漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃ ，所以如果實際環境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致，需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值修正至同一環境溫度下來計算，并在測試結果中加以說明，修正方法如下:

方法一: 將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環境溫度下，用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值；

方法二: 將標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環境溫度下，用標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值。