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發布時間:2021-03-20 18:45  
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壓電陶瓷執行器因其體積小、位移分辨率高、響應速度快、輸出力大、換能效益高等優點,廣泛應用于掃描探針顯微鏡、自適應
/主動光學元件、納米定位、振動控制、聲學、聲納、微流體輸送等領域中[1]。對于壓電陶瓷穩定工作很多困難亟待解決,其中迫切的就是驅動電源,壓電陶瓷驅動電源技術己成為目前壓電陶瓷執行器應用中的關鍵技術之一[2]。
壓電陶瓷執行器驅動電源主要有電壓控制型和電流/電荷控制型兩種[3],從實現方式上主要有線性和開關式兩種[4]。電壓控制型壓電陶瓷執行器驅動電源有以下幾種方式:
1)線性直流放大式電源直接采用高壓運算放大器的方式具有靜態性能好、集成度高、結構簡單等優點,但由于高壓運算放大器的輸出電流一般都小于200mA,
因此壓電陶瓷執行器的動態性能受到限制。
在各種精密陶瓷中,以電子陶瓷的應用樣,市場也大,由於其優異的特性,且具有一些特殊的性能,如壓電性、焦電性等,使它在電子工業上占有一個非常重要的地位,其特性分述如下:
陶瓷具有相當優良的環境穩定性,比如抗酸抗堿性,耐高溫低溫,耐磨耐壓,因此可以
應用在相當嚴苛的條件之下,擴大了應用的范圍。
在各種精密陶瓷中,以電子陶瓷的應用樣,市場也大,由於其優異的特性,且具有一些特殊的性能,如壓電性、焦電性等,使它在電子工業上占有一個非常重要的地位,其特性分述如下: