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特種氣體系統的設計與施工

特氣輸送系統是指：將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數的控制，通過管道、無二次污染、穩定的輸送到工藝設備的用氣點。

其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→用氣點

分類

特種氣體根據氣體性質不同一般分為：惰性氣體、易1燃易1爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。

特氣供氣系統

大規模供氣系統主要針對大規模量產的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產線（氣體種類包括NH3），發光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產線（氣體種類包括HCL）等行業。其排風系統也根據危險品性質分成普通排風系統（GEX）、酸性排風系統（SEX）、溶劑排風系統（VEX）、氨氣排風系統（AEX）。它們的投資規模巨大，采用1先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。

特種氣體的運輸

算出運輸量

關于高壓氣體的運輸規則，根據其運輸量而有所不同。其運輸量，可用如下方法算出。

(1)運輸量的計算

  運輸量的計算是用一個容器的氣體充填量乘上車上裝載的容器個數。

  容器的充填量，壓縮氣體用米3表示，液化氣體用公斤表示。

壓縮氣體 容器內容積(升)×充填壓力(公斤／厘米2 )/1000=米3

  液化氣體 容器的充填質量(公斤)。

在半導體制造業中，可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體，大宗氣體是指集中供應且用量較大的氣體，如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導體制造中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積，擴散等過程中使用的各種化學氣體，如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等，又可稱為電子特種氣體。2、檢測及比較介質，通常會根據使用的儀器配制標準氣體，用于質譜儀、氣相色譜儀、核測、報警、檢漏、醫1療、電子、原子吸收、化學檢驗等。電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業，由于所用氣體的品種多、質量要求高，為有別于其它領域應用的氣體。