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氦質譜檢漏儀的校準方法

(1) 漏率校準① 校準系統的組成

校準系統由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質譜檢漏儀組成。

②示值誤差

通電預熱，待氦質譜檢漏儀啟動完成后，采用標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行校準，將一經過校準的標準漏孔接入氦質譜檢漏儀系統，運行氦質譜檢漏儀，待漏率示值穩定后，可以讀出標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值，同一標準漏孔測量三次，計算氦質譜檢漏儀示值平均值，從而得到標準漏孔漏率與氦質譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。3）航天工業中、各類閥門、電子元器件，傳感器等等都在廣泛應用氦質譜檢漏儀及其檢漏技術。結束后，將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質譜檢漏儀系統進行測試，得到氦質譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。

如果測試結果有較大編差，可以考慮氦質譜檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標準漏孔進行測試。

③ 重復性

測量重復性是用實驗標準偏差表征的，本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中，每一標準漏孔用氦質譜檢漏儀重復測量三次，可用公式(2)計算氦質譜檢漏儀在該漏率下的重復性。

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氦質譜檢漏儀能為不同的需求提供不同的測量方法

氦質譜檢漏儀原理的氦質譜檢漏儀特點：

1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內；

2.檢測的介質比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.不會受到主觀因素判斷的影響；

4.檢測的數據精準；

5.自動生成數據保存，可追溯數據來源。

氦質譜檢漏儀進展的集中體現在如下幾個方面：

（1）便攜式：zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。

（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。

（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

（5）檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

氦質譜檢漏儀能為不同的應用提供廣泛的測試方法，含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。今天科儀創新的小編就和大家來分享一下氦質譜檢漏儀的主要及時指標。氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用,例如,在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。

氦質譜檢漏儀的進展

（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。氦質譜檢漏儀由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被廣泛應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。5l/s，氦質譜檢漏儀ASM340對氦氣的蕞小檢測漏率：真空模式：5·10-13Pam3/s吸槍的模式：5·10-10Pam3/s以上內容由科儀創新為您提供，今天我們來分享的是氦質譜檢漏儀的相關內容，希望對您有所幫助。檢漏儀在使用過程中，往往會因為產生的一些故障或是現象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。

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