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一般來說，間壁式換熱器有管式、殼式、板式三種形式。熱氧化溫度必須控制在800℃~1000℃以內，因此間壁式熱交換必須由不銹鋼或合金材料制成。因此，間壁式換熱器的成本相當高，這也是其缺點。另外，材料的熱應力也難以消除，這是間墻式換熱的另一個缺點。工業廢氣尾氣處理

蓄熱式熱氧化器簡稱RTO，在熱氧化裝置中計入蓄熱式熱交換器，完成VOC預熱后可以進行氧化反應。現階段，蓄熱式熱氧化器的熱回收率已到95%，占有空間小，輔助燃料消耗少。現在的蓄熱材料可以使用陶瓷填充材料，可以處理腐蝕性和含有粒子狀物質的VOC氣體。

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生物凈化法實際上是利用微生物的生命活動將廢氣中的有害物質變成簡單的無機物(如二氧化碳和水)和細胞物質等，主要技術有生物洗滌法、生物過濾法和生物滴濾法。不同成分、濃度和氣量的氣體污染物各有其有效的生物凈化系統。生物清洗塔適用于處理凈化氣量小、濃度大、易溶解、生物代謝速度低的廢氣的氣量大、濃度低的廢氣可以采用生物過濾床的負荷高、污染物分解后生成酸性物質的好是生物過濾床。

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自動清理陶瓷過濾系統。自動清掃陶瓷過濾系統根據排氣量，污染物的種類必要的補充和過濾效率有關。

系統運行時，排出工藝廢氣(含冷或熱有機粒狀物/有機凝結物或VOCs)。被吸引到陶瓷過濾器中。廢氣根據粒狀物的例徑大小和收集效率大小設計的陶瓷板、燃燒器組、間歇或連續加熱該陶瓷板，揮發收集到該陶瓷板的有機粒狀物進入焚燒爐，將無機物燒成無機灰，掉落到室底收集。揮發的有機物被焚燒爐(催化劑式焚燒爐、直燃式焚燒爐等)焚燒轉化為二氧化碳、水氣和熱氣。