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磁控濺射鍍膜機

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真空鍍膜機利用這種濺射方法在基體上沉積薄膜是1877年問世的。這是因為磁控濺射法可以通過正交電磁場對電子的約束，增加了電子與氣體分子的碰撞概率，這樣不但降低了加在陰極上的電壓，而且提高了正離子對靶陰極的濺射速率，減少了電子轟擊基體的概率，從而降低了它的溫度，即具備了。但是，利用這種方法沉積薄膜的初期存在著濺射速率低，成膜速度慢，并且必須在裝置上設置高壓和通入惰性氣體等一系列問題。因此，發展緩慢險些被淘汰。只是在化學活性強的金屬、難容金屬、介質以及化合物等材料上得到了少量的應用。直到20世紀70年代，由于磁控濺射及時的出現，才使濺射鍍膜得到了迅速的發展，開始走入了復興的道路。這是因為磁控濺射法可以通過正交電磁場對電子的約束，增加了電子與氣體分子的碰撞概率，這樣不但降低了加在陰極上的電壓，而且提高了正離子對靶陰極的濺射速率，減少了電子轟擊基體的概率，從而降低了它的溫度，即具備了;高速、低溫的兩大特點。到了80年代，雖然他的出現僅僅十幾年間，它就從實驗室中脫穎而出，真正地進入了工業大生產的領域。而且，隨著科學技術的進一步發展，近幾年來在濺射鍍膜領域中推出了離子束增強濺射，采用寬束強流離子源結合磁場調制，并與常規的二極濺射相結合組成了一種新的濺射模式。而且，又將中頻交流電源引入到磁控濺射的靶源中。這種被稱為孿生靶濺射的中頻交流磁控濺射技術，不但消除了陽極的;消失;效應。而且，也解決了陰極的問題，從而極大地提高了磁控濺射的穩定性。為化合物薄膜制備的工業化大生產提供了堅實的基礎。近年來急速鍍膜的復興與發展已經作為人們炙手可熱的一種新興的薄膜制備技術而活躍在真空鍍膜的技術領域中。

濺射鍍膜機濺射鍍技術應用

蒸發鍍應用新型電極 引入裝置，接觸電阻小且可靠;磁控濺射應用鍍膜材料廣泛，各種非導磁的金屬、合金均可作鍍料;結構緊湊、占地面積小;磁控、蒸發共用兩臺立式工件車，操作 方便、。在基片表面生成化合物是我們的目的，在其他結構表面生成化合物是資源的浪費，在靶表面生成化合物一開始是提供化合物原子的源泉，到后來成為不斷提供更多化合物原子的障礙。 (或雙門蒸發、磁控兩用機) 公司業務范圍真空鍍膜成套設備與技術，真空工程用各種泵、閥、真空計、油、脂、密封件，真空鍍膜材料、涂料、金屬及合金制品。真空設備故障診斷與排除、老 產品改造。新型塑料、金屬、玻璃等制品表面處理工藝及技術研究，咨詢服務。新技術、新設備、新工藝公司新開發的磁控、蒸發多用鍍膜機，配用改進型高真空抽 氣系統及全自動控制系統，抽速快、、操作簡單、工作可靠;具有可鍍膜系廣、膜層均勻、附著力好、基板溫度底等特點;是鍍制金屬、合金及化合物膜的理 想設備;適合鍍制透明膜、半透明膜、超硬膜、屏蔽膜及一些特殊的功能性膜。已廣泛應用在光學、電子、通訊、航空等領域。

磁控濺射靶在鍍膜過程中的重要作用? ??

磁控濺射靶是真空磁控濺射鍍膜的核心部件，它的重要作用主要表現在以下兩個方面(1)對于大面積表面的鍍膜，磁控濺射靶影響著膜層的均勻性與重復性；(2)當膜層材料為貴重金屬時，靶的結構決定著靶材(形成薄膜的材料)，即該貴重金屬的利用率。

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我國真空鍍膜機行業發展現狀和前景分析

我國鍍膜機械，經過了幾十年發展，形成了門類齊全、布局合理，品種配套，真空鍍膜技術水平與鍍膜工業發展基本適應的體系，真空鍍膜設備已經不能再叫新行業了，其是一個有創新能力的成熟行業，鍍膜技術從重污染轉為輕污染直至以后的無污染，創新是前提，隨著更新型節能環保的真空機械設備研發必將改變整個工業。但高頻磁控濺射電源昂貴，濺射速率很小，同時接地技術很復雜，因而難大規模采用。

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