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發布時間：2020-07-27 21:29
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氦質譜檢漏儀的主要配置
科儀創新產品主要有：薄膜制備設備，真空冶金設備，檢漏設備，真空系統等非標真空產品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設備；正壓法的檢測標準主要有QJ3089-1999《氦質譜正壓檢漏方法》、QJ2862-1996《壓力容器焊縫氦質譜吸槍罩盒檢漏試驗方法》，主要應用于大容積高壓密閉容器產品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。超高真空環境模擬設備等高新技術產品。今天科儀創新的小編就和大家分享一下氦質譜檢漏儀的主要配置有哪些，希望對您有所幫助！
1. 檢漏儀專用分子泵
2. 機械泵或者干泵
3. 定制檢漏儀專用電磁閥
4. 內置標準漏口
5. 放大器
6. 采用質譜專用模塊
以上是科儀創新為您一起分享的內容，科儀創新專業生產氦檢漏，歡迎新老客戶蒞臨。
氦質譜檢漏儀常用檢漏方法及標準
氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理，實現被檢件的氦泄漏量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，泄漏出來的氣體進入氦質譜檢漏儀后，由于氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在獲得氦氣信號值的基礎上，通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。
根據檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關系不同，可以將氦質譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法，下面分別總結了這四種氦質譜檢漏法的檢測原理、優缺點及檢測的標準。
真空法氦質譜檢漏
采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的準確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。
氦質譜檢漏儀的校準方法
氦質譜檢漏儀廣泛應用于制冷行業、核工業、電子行業、真空行業、電力行業、航空航天等行業。根據其工作原理和技術性能指標，通過實驗，總結通過氦質譜檢漏儀對其漏率校準的方法。
氦質譜檢漏儀原理:
氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據不
氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統和電氣部分等組成。
氦質譜檢漏儀的內部一般有標準漏孔，可將標準漏孔拆卸進行校準，如果不能單獨校準標準漏孔，就可考慮直接通過氦質譜檢漏儀進行漏率部分的校準，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準方法。
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氦氣檢漏的主要參數及優勢
1、關鍵零部件全球集優采購，保證了系統的穩定性和可靠性；
2、真空箱內氦氣本底抑零，保證了檢漏的準確性、；
3、特有的清氦系統，快速有效地清除超標的氦本底，保證檢測的穩定性和準確性；
4、實時監測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；
5、可對使用過程中產生的濃度不合格氦氣進行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）；
6、可同時檢測多工件，并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件；
7、專業定制的的密封接頭，穩定可靠，減少誤判。
8、觸摸屏實時顯示監測數據和運行參數，監控一目了然。
9、電氣控制系統的連鎖保護及聲光報警功能，確保了系統的操作安全及可靠運行。
今天和大家分享的是氦氣檢漏的主要參數及優勢，希望對您有所幫助！
