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              發布時間:2020-08-27 10:46  

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              亂流潔凈室亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流(從送風口到回風口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區截面形成勻速氣流。所以,送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內不可能以單一方向流動,將會彼此撞擊,將有回流、旋渦產生。凈化車間無塵室測試范圍,在空氣凈化工程驗收完成后,為了能確保空氣潔凈度,凈化車間無塵室要制訂好維護保養計劃。這就決定亂流潔凈室的流態實質是:突變流;非均勻流。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切。紊流主要決定于雷諾數,也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個過濾器頂送的送風形式,則即使流速極低,也要產生上述各種結果,這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發生的摻混,而且還有全室范圍內的大的回流、旋渦所發生的摻混。


              靜電電引起的靜電,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受而摔倒,由摔倒又致傷);若加濕器設在空調器的風機段內,還應采取措施避免凝結水滴到電機上,造成電機短路斷電。2.靜電放電引起的放電電流,可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作,例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內,搖晃數次后,與非門柵極嚴重擊穿者計39塊,失效率競達78%,這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏;


              復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。氣流有如一個空氣活塞,向下流經室內,帶走污染物,然后從地面排出。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。


              A.建議新風經過集中處理后再與回風混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。對于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度,所以主要用換氣次數這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求。2、光學微電子行業凈化工程設計方案分析之水冷柜機 增壓風柜 送風口與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內,增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。