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質量流量控制器概述

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熱式質量流量控制器，利用氣流流過毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質量流量。不同于容積式流量計，其流量精度不受氣體壓力、環境溫度影響。由于上下游溫差總是實時反應氣流瞬時流量， 所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。

質量流量控制器簡介

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使用范圍： 質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等 行業的氣流測量與控制。

特點：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小。

質量流量控制器的常見問題

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實際使用中發現，當輸入的氣體不同時控制顯示的數值與實際不符，其實原因很簡單，因為在MFC行業中，有一種參數叫CF，即氣體轉換系數（下面簡稱CF）。而MFC行業中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。

假設某臺MFC是用N2標定的，但是實際流過的氣體是He，實際的流量比N2多。各個廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡單的說就是He氣相同示數時，是N2的1.4倍流量。反過來，如果N2流過He的MFC，實際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發現流量不準時，考慮出廠標定CF是否與你的氣源相同。