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鍍膜機真空機械選擇

了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

真空納米鍍膜機真空鍍膜的方式，我們在施工的時候會碰上各種各樣的問題

　　(1)鍍膜機：快速成膜0.1—50/min，設備比較簡單，容易操作;純度高，制備的薄膜;薄膜生長機制比較簡單。

　　(2)薄膜的附著力較小，結晶過程是重復性不夠好。

Parylene是這些組裝方式的防護材料，5微米厚就能耐1000V以上直流擊穿電壓，因此在微機電系統中，Parylene是一的電介質材料。同時，對傳感器的防酸、堿和及對水汽和鹽霧等惡劣環境有的阻隔防護能力。  

Parylene活性分子的良好穿透能力在元件內部，底部、周圍形成無氣隙的防護層。優良的防潮、防化學品和耐溶劑性能優良的介電絕緣性能、微米級的精密制作、極薄的膜層仍具極優的電性能、物理機械性能和防腐蝕功能。

真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發并凝結于鍍件（金屬、半導體或絕緣體）表面而形成薄膜的一種方法。例如，真空鍍鋁、真空鍍鉻等。

真空鍍膜是真空應用領域的一個重要方面，它是以真空技術為基礎，利用物理或化學方法，并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術，為科學研究和實際生產提供薄膜制備的一種新工藝。超聲波化學氣相沉積加工過程中的常見故障排除超聲波化學氣相沉積加工工藝流程比較長、工序繁多，發生故障的影響因素會很多。簡單地說，在真空中把金屬、合金或化合物進行蒸發或濺射，使其在被涂覆的物體（稱基板、基片或基體）上凝固并沉積的方法，稱為真空鍍膜。

Parylene涂層不僅有優異的介電性能、低的介質損耗和高的介電強度，同時具有優良的機械性能和耐輻射性能。派瑞林納米涂層式一種高分子熱可塑性聚合體，由單體對二在真空狀態下均勻分布在被涂裝物的縫隙和表層然后聚合。Parylene如此高的介電強度主要歸功于Parylene能形成連續無缺陷和無其它填充物的薄膜。Parylene具有優異的尺寸穩定性和低溫性能，在幾乎不改變器件尺寸的情況下提供1.5KV,2.0KV 甚至更高的耐電壓擊穿性能。因此，Parylene可用作微機電，微馬達的表面處理和絕緣體。使用高純度的Parylene作鈍化層和介質層，能提供安全、穩定的防護。