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              天津天津潔凈車間技術(shù)值得信賴「子潤凈化工程」

              發(fā)布時間:2021-07-06 16:59  

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              管線組織凈化車間的蔭蔽組織方法

              管線組織 凈化車間的管線十分復(fù)雜,所以對這些管線均選用蔭蔽組織方法。詳細蔭蔽組織方法有以下幾種。 技能夾層 (1)頂部技能夾層。在這種夾層內(nèi)通常因送、回風(fēng)管的斷面,故作為夾層內(nèi)首先思考的目標。通常將其組織在夾層的上方,其下組織電氣管線。當(dāng)這種夾層的底板可接受必定分量時,能夠在上面設(shè)置過濾器及排風(fēng)設(shè)備等。 (2)房間技能夾層。這種方法和只要頂部夾層比較,能夠削減夾層的布線與高度,能夠省去回風(fēng)管道回來上夾層所需的技能夾道。鄙人夾道內(nèi)還可設(shè)回風(fēng)機動力設(shè)備配電等,某層凈化車間的上夾道能夠兼做上一層的下夾道。


              潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染

              潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染(Airborne Molecular Contaminants,AMC)作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前由日本人提出,近年來,世界IC技術(shù)發(fā)展迅速,IC芯片日益微型化。AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù),但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴重影響成品率的重要問題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計與施工建設(shè)的主流趨勢。目前,國內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究,在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成,在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列,而中國電子工程設(shè)計院則在防微震方面。


              手術(shù)室空調(diào)機組的要求及要求

              機組停機時,新風(fēng)密閉閥同時關(guān)閉,風(fēng)機如需停機,時間應(yīng)可由用戶自行設(shè)定。 機組應(yīng)配置紫外線燈滅菌。 機組應(yīng)配置手動強制開機功能,確保機組在控制系統(tǒng)故障時仍可啟動。 機組應(yīng)采用可匹配變頻器控制風(fēng)機運行,以滿足手術(shù)室空調(diào)系統(tǒng)的要求。 機組應(yīng)采用可實現(xiàn)多種工況運行模式,控制室內(nèi)溫濕度,可通過通信接實施中央監(jiān)控,或與BMS樓宇自動化系統(tǒng)聯(lián)網(wǎng)。 4.人和貨物進入車間必須經(jīng)過,風(fēng)淋室,貨淋室,傳遞窗主要傳遞小物品。 5.在凈化車間內(nèi)局部需要達到10-1000級地方安裝垂直層流工作臺,層流罩(FFU),潔凈棚(可移式凈化工作棚),自凈器。 6.測試潔凈室潔凈度用,激光塵埃粒子計數(shù)器。


              氣流模式及壓力分布菌落

              氣流模式及壓力分布 菌落作為微粒會按空氣的方向和速度運動,因此控制氣流的形式具有重要的意義,氣流的控制應(yīng)該是兩個層次的:一個是總體的,一個是局部的。總體控制即控制手術(shù)部內(nèi)各房間,即手術(shù)室和其相鄰的房間之間的運動。氣流要依手術(shù)部的布置而設(shè)計,有一個重要的原則是:氣流要從潔凈的房間流向次潔凈的房間,因此氣流必須由手術(shù)室流向潔凈走道,確保污染物不會,按實際經(jīng)驗,I級潔凈手術(shù)室應(yīng)保持25Pa正壓,II級潔凈手術(shù)室應(yīng)保持20Pa正壓,III級潔凈手術(shù)室應(yīng)保持15Pa正壓,IV級潔凈手術(shù)室應(yīng)保持10Pa正壓,潔凈走道應(yīng)保持5~10Pa正壓,當(dāng)手術(shù)室需要負壓時應(yīng)單獨設(shè)計,建議安裝壓差傳感器以控制手術(shù)室內(nèi)的壓差,手術(shù)室的地板,墻身,天花板門都必須密封,特殊手術(shù)室也可按正負壓轉(zhuǎn)換設(shè)計,當(dāng)發(fā)生事故時,可馬上將手術(shù)室由正壓轉(zhuǎn)為負壓,避免污染室外環(huán)境。


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