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PLD脈沖激光沉積系統介紹

PLD是將脈沖激光透過合成石英窗導入真空腔內照射到成膜靶上，靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume狀等離子體狀態，然后被堆積到設在對面的基板上而成膜。PLD方法可以獲得擁有熱力學理論上準穩定狀態的組成和構造的人工合成新材料。

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脈沖激光沉積發展前景

由脈沖激光沉積技術的原理、特點可知，它是一種極具發展潛力的薄膜制備技術。連續激光：纖綠激光激光泵浦源持續提供能量，長時間地產生激光輸出，從而得到連續激光。隨著輔助設備和工藝的進一步優化，將在半導體薄膜、超晶格、超導、生物涂層等功能薄膜的制備方面發揮重要的作用；并能加快薄膜生長機理的研究和提高薄膜的應用水平，加速材料科學和凝聚態物理學的研究進程。同時也為新型薄膜的制備提供了一種行之有效的方法。

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脈沖激光沉積設備介紹

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是比較理想的薄膜與涂層合成設備。只要凝結率比受濺射粒子的釋放率高，熱平衡狀況便能夠快速達到，由於熔化粒子流減弱，膜便能在基片表面生成。可制備的薄膜包括氮化物、氧化物、多層膜、鉆石、石墨烯、碳納米管、2D材料。Blue Wave還提供相關系統配件，例如基片加熱裝置、原位監測工具。此外，BlueWave還為您提供標準的薄膜以及材料涂層，例如氧化物涂層、導電薄膜、無定型或納米晶Si/SiC、晶體AlN-GaN、聚合物、納米鉆石、HFCVD鉆石涂層以及器件加工。