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凈化工程之“肺“--HEPA過濾器的由來

國人那時開始對這種過濾器結構產生興趣。20世紀80年代，國內多家院所和企業研制無隔板過濾器；20世紀90年代，國內數家企業引進國外無隔板過濾器成套生產線。自此,我國慢慢開始發展自己的過濾器產業.

自以來，過濾器凈化用途已經從原來單純的個人防護向企業工作環境的空氣凈化方面發展,廣泛應用于光電子、半導體。

過濾器DOP（PAO）檢漏法在潔凈室中的應用

粒徑分布在0.1μm ~0.3μm。冷發生器是指利用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，經laskin噴管飛濺產生物態的多分散相DOP（PAO）氣溶膠，分布粒徑在0.65μm左右。對過濾器進行掃描檢漏時，經常使用冷DOP（PAO）。

檢測儀器有兩種，一種是氣溶膠光度計，另一種是粒子計數器，過濾器檢漏中常用的檢測儀器是氣溶膠光度計（以下簡稱光度計）。

在20 Pa工作壓力下，氣流速率為50~2025 f3/min時，可產生10μg/mL~100μg/mL 濃度的多分散性亞微米級油塵氣溶膠。使用的氣溶膠光度 計為ATI 2H型光度計，動態測量范圍為0.00005 μg/L ~120μg/L，采樣流量為lf3/min（28.3 L/min）。在待測HEPA上游一側引入PAO氣溶膠于HVAC 系統中的HEPA，為使氣溶膠到達HEPA時的濃度均勻。

按照氣溶膠光度計操作要求進行初始化、設定報警值。將UPSTREAM采樣管與上游采樣口相連，測量上游氣溶膠的濃度。按照氣溶膠發生器操作要求調節發生的氣溶膠濃度，使上游氣溶膠濃度達到10 mg/L~30 mg/L。

掃描檢漏卸下HEPA的散流板，對整個過濾器面、過濾器與邊框之間、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進行掃描。