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                    ABOUT US
                    
                    
              廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺，面向半導體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領域，致力于打造高品質的公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結合的專業人才 
              
                    
                    
              
                
              
                                
              
                    廣東省科學院半導體研究所
                
              
                                
              
            
              
        
              
        
              
            
              
                
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