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試驗室供氣需求

目前大多數試驗室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質譜儀、液相色譜質譜儀、原子吸收分光光度計、原子熒光光度計、等離子發射光譜儀、電感耦合等離子質譜儀等都需要連續使用高純載氣和燃氣，因此試驗室的安全、連續、穩定運行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗室中放置的分析儀器。電子行業常用的特氣超過三十余種，按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。

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試驗室供氣現狀

目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統完成上述工作。同時，當地消防規范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲槽放置在工作區外的指1定區域，然后將氣體通過管道系統輸送至試驗室內。

但是考慮安全和效率因素，不考慮經濟性因素，集中供氣系統是比較優1秀的方式。并成為當今試驗室設備使用高純氣體的可靠連續的供應源，氣體通過管道系統輸送至試驗室內，并可通過安裝在工作臺上的使用點二級減壓器方便地調節壓力和流量。

國內比較老的試驗室在使用氣體的時候大多是將氣瓶放在用氣點的旁邊，然后在氣瓶出口處安裝一個減壓器，然后直接通過紫銅管或四氟軟管連接到儀器上，如果一個試驗室里有多個使用設備時，就會有很多氣瓶，同時有很多雜亂的管路，同時這些氣體不乏有毒氣體、強腐蝕氣體，以及氣瓶出口高壓等因素，使得這種方式在現實使用過程中是充滿危險性的。多數氣瓶出口壓力最1高可達15MPa，即150公斤/cm2，如果發生氣瓶口減壓裝置失靈，就有可能將一些部件激1射出去，其能量對人體或設備都具有致命性的傷害。

特種氣體鋼瓶在運輸和儲存的注意事項

由于特種氣體產品的潛在危險性，如氧氣遇油脂著火，氣瓶倒下使閥門拆斷引起飛瓶，惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運及儲存中應注意的一些安全事項。

氣體鋼瓶在運輸和裝卸過程中應輕裝輕卸，嚴禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。              

使用氣體前應按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上，并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時不要使用同一個減壓閥。

不應在封閉空間內用惰性氣體（如氮氣、二氧化碳等）進行實驗分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。  

燒焊時，應對氣體及電氣采取適當的保護措施。不要使用損壞的設備，如軟管、電纜及焊槍等。              

特種氣體氣瓶存放區應比較干燥，并有良好通風，嚴禁明火和其它熱源，嚴禁曝曬可燃氣瓶或氧氣瓶附近嚴禁吸煙，氣瓶不應接觸到火花、火焰、熱氣及電路。

在儲存、運輸及使用杜瓦罐時不能使其臥倒，應永遠使杜瓦罐保持直立狀態。 

高純氣體的輸送管路系統

隨著微電子工業的發展，超大規模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高，對氣體中雜質和露1點要求極為嚴格，需要達到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統提出了非常高的要求 。特種氣體的應用電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業,由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業。