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              海南高純供氣系統(tǒng)廠家服務(wù)放心可靠,北京艾明坷

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              發(fā)布時(shí)間:2020-07-19 21:49  






              試驗(yàn)室供氣需求

              目前大多數(shù)試驗(yàn)室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質(zhì)譜儀、液相色譜質(zhì)譜儀、原子吸收分光光度計(jì)、原子熒光光度計(jì)、等離子發(fā)射光譜儀、電感耦合等離子質(zhì)譜儀等都需要連續(xù)使用高純載氣和燃?xì)猓虼嗽囼?yàn)室的安全、連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗(yàn)室中放置的分析儀器。電子行業(yè)常用的特氣超過(guò)三十余種,按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。

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              試驗(yàn)室供氣現(xiàn)狀

              目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統(tǒng)完成上述工作。同時(shí),當(dāng)?shù)叵酪?guī)范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲(chǔ)槽放置在工作區(qū)外的指1定區(qū)域,然后將氣體通過(guò)管道系統(tǒng)輸送至試驗(yàn)室內(nèi)。

              但是考慮安全和效率因素,不考慮經(jīng)濟(jì)性因素,集中供氣系統(tǒng)是比較優(yōu)1秀的方式。并成為當(dāng)今試驗(yàn)室設(shè)備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應(yīng)源,氣體通過(guò)管道系統(tǒng)輸送至試驗(yàn)室內(nèi),并可通過(guò)安裝在工作臺(tái)上的使用點(diǎn)二級(jí)減壓器方便地調(diào)節(jié)壓力和流量。

              國(guó)內(nèi)比較老的試驗(yàn)室在使用氣體的時(shí)候大多是將氣瓶放在用氣點(diǎn)的旁邊,然后在氣瓶出口處安裝一個(gè)減壓器,然后直接通過(guò)紫銅管或四氟軟管連接到儀器上,如果一個(gè)試驗(yàn)室里有多個(gè)使用設(shè)備時(shí),就會(huì)有很多氣瓶,同時(shí)有很多雜亂的管路,同時(shí)這些氣體不乏有毒氣體、強(qiáng)腐蝕氣體,以及氣瓶出口高壓等因素,使得這種方式在現(xiàn)實(shí)使用過(guò)程中是充滿危險(xiǎn)性的。多數(shù)氣瓶出口壓力最1高可達(dá)15MPa,即150公斤/cm2,如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈,就有可能將一些部件激1射出去,其能量對(duì)人體或設(shè)備都具有致命性的傷害。



              特種氣體鋼瓶在運(yùn)輸和儲(chǔ)存的注意事項(xiàng)

              由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險(xiǎn)性,如氧氣遇油脂著火,氣瓶倒下使閥門(mén)拆斷引起飛瓶,惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運(yùn)及儲(chǔ)存中應(yīng)注意的一些安全事項(xiàng)。

              氣體鋼瓶在運(yùn)輸和裝卸過(guò)程中應(yīng)輕裝輕卸,嚴(yán)禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。              

              使用氣體前應(yīng)按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上,并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時(shí)不要使用同一個(gè)減壓閥。

              不應(yīng)在封閉空間內(nèi)用惰性氣體(如氮?dú)狻⒍趸嫉龋┻M(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。  

              燒焊時(shí),應(yīng)對(duì)氣體及電氣采取適當(dāng)?shù)谋Wo(hù)措施。不要使用損壞的設(shè)備,如軟管、電纜及焊槍等。              

              特種氣體氣瓶存放區(qū)應(yīng)比較干燥,并有良好通風(fēng),嚴(yán)禁明火和其它熱源,嚴(yán)禁曝曬可燃?xì)馄炕蜓鯕馄扛浇鼑?yán)禁吸煙,氣瓶不應(yīng)接觸到火花、火焰、熱氣及電路。

              在儲(chǔ)存、運(yùn)輸及使用杜瓦罐時(shí)不能使其臥倒,應(yīng)永遠(yuǎn)使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。 




              高純氣體的輸送管路系統(tǒng)

              隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來(lái)越高,對(duì)氣體中雜質(zhì)和露1點(diǎn)要求極為嚴(yán)格,需要達(dá)到ppb、ppt級(jí),塵埃粒徑求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此對(duì)高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。特種氣體的應(yīng)用電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類(lèi)在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。



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