汽車高壓油軌真空箱氦檢漏系統的行業須知 科儀創新真空有限公司

氦質譜檢漏儀的應用拓展三

（1）電子行業

微波發射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。

（2）真空行業，儀器、儀表行業

管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、高能加1速器、加1速器、輻照加1速器、鍍膜機、薄膜真空計。

（3）核工業

鈾分離裝置、存儲裝置、核發電裝置。

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氦質譜檢漏儀在消防器材檢漏應用一

消防器材鋼瓶檢漏原因      

滅火器屬于特殊器材，在發生火災的情況下使用，所以一般都會閑置，但是裝有滅火材料的鋼瓶瓶里有 2.5 MPa 壓力，如果鋼瓶有漏（鋼瓶自身的焊縫，閥門處）的話，尤其是小漏時，這時就會出現很大的隱患，所以在出廠前，生產商要做嚴格的檢漏工序，用以避免在運輸或存放時的泄露隱患。筆者測算，在測試到數量級為10-9Pa?m3/s的微漏漏點時，清除時間約須1分鐘。

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氦質譜檢漏儀的注意事項

檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度，正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時，在漏點處噴射氦氣5～10s后，檢漏儀就發生響應，對于如此龐大的真空系統，其反應是相當的靈敏。

檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍，該時間再加上氦氣在真空系統中的傳遞時間，即為兩次噴氦的較小間隔時間，當然真空系統越龐大，該間隔時間也越長。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。筆者根據實測經驗，兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右，即如果次噴氦后30s內檢漏儀還沒有反應,則可進行第二次噴氦。

清除時間在理論上與響應時間相同，但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。根據檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關系不同，可以將氦質譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法，下面分別總結了這四種氦質譜檢漏法的檢測原理、優缺點及檢測的標準。筆者測算，在測試到數量級為10-9P a ?m3/s的微漏漏點時，清除時間約須1分鐘；在測試到數量級為10-8P a ? m3/s的中漏漏點時，清除時間約須2分鐘；在測試到數量級為10-7Pa?m3/s的大漏漏點時，清除時間在3分鐘左右。

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