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氦質(zhì)譜檢漏儀的進展

經(jīng)過近半個世紀的努力，今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。

集中體現(xiàn)在如下幾個方面：

（1）便攜式：近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，測漏設備，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。

例如：瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來達到此目的，且提高檢漏靈敏度。

另外，逆擴散檢漏方式，實現(xiàn)了高壓強下檢漏，也為正壓吸檢漏提供了良好的條件。

真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)在汽車空調(diào)的應用一

水檢和氦檢兩種檢漏方法的分析

目前，水檢和氦檢兩種檢漏方法國內(nèi)汽車空調(diào)兩器檢漏主要的方法，下面將分析兩種檢漏方法的優(yōu)缺點。

1.1 傳統(tǒng)水泡法檢測分析

水泡檢漏法，屬于檢測精度要求不高的粗檢漏，就是將被檢工件充入一定壓力的干燥壓縮空氣或者是氮氣，然后放入水中，觀察是否有氣泡從被檢工件中跑出來，如果有，則說明漏，而且指出什么位置泄漏，一般只確定被檢件是漏還是不漏，而不需定量。但并不是說氣泡檢漏就不能定量。在某些情況下，氣泡檢漏也可以定量。檢出氣泡的漏率與氣泡直徑、氣泡形成速率、充氣的種類有關。

因此，對于空調(diào)兩器檢漏來說，采用水檢方法，靈敏度較低。受人為因素影響，漏判誤判率會明顯增加。另外，工件水檢后，外表面有水，汽車空調(diào)測漏設備，需烘干處理，耗電多，耗費勞動力也多。但水檢法也有優(yōu)點，就是操作簡單直觀，而且能夠查找漏點位置。

1.2 氦質(zhì)譜檢漏方法分析

氦質(zhì)譜檢漏是以氦作探索氣體，對各種需密封的容器的漏隙進行快速定位和定量檢測的理想方法。

氦質(zhì)譜檢漏法有優(yōu)點在于：氦是惰性氣體，對大氣無污染，使用安全；氦原子質(zhì)量小，黏度小，易滲透過可能存在的漏隙。氦氣在大氣中含量小（5ppm），不易受干擾。氦質(zhì)譜檢漏儀檢測靈敏度高，速度快，適用范圍廣。

目前國內(nèi)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀較小可檢漏率可達到5.0×10-13 Pa·m3/s。目前，國內(nèi)外比較流行的針對空調(diào)兩器檢漏方法，多采用真空箱法。

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如何正確使用氦氣檢漏設備？

1.為了正確使用氦氣檢漏設備，在充入檢漏氣體前有必要對抽空樣品進行預抽空。如果在填充前沒有排空，試件中的空氣將被擠壓到幾何空間的末端，氦氣檢漏設備中的氣體不能進入該部分，因此潛在的檢漏孔將僅釋放空氣，檢漏設備不能檢測到這些檢漏孔。

2.氦氣檢漏設備的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在檢漏氣體試驗前放在水箱中，這些泄漏孔或毛細管會被水堵塞或充滿，從而大大影響檢漏結(jié)果。

3.在填充檢漏氣體之前，有必要快速測試是否有大的泄漏。對大泄漏孔的一個簡單測試方法是在短時間內(nèi)抽空樣品并觀察抽空壓力。如果樣品能夠保持抽空壓力，則表明沒有大的泄漏孔，可以填充泄漏檢測氣體。

4.如果氣密檢漏儀在運行過程中沒有在高壓下進行泄漏測試，那么氦氣檢漏設備就不能檢測到一些泄漏孔。因此，在檢漏過程中使用較高的測試壓力可以有效地檢測實際操作中沒有出現(xiàn)的泄漏孔。

5.檢漏試驗中的可檢測泄漏率與檢漏氣體的背景濃度有很大關系，背景濃度越高，波動越大。如果泄漏測試后泄漏檢測氣體排放到泄漏檢測區(qū)域，汽車空調(diào)測漏設備，背景濃度將在整個工作日持續(xù)增加。此外，在加注或排放過程中，確保沒有氣體溢出，并定期檢查連接件是否有泄漏。

6.如果檢漏氣體泄漏氦和氫，它將像氣球一樣飛到檢漏區(qū)的室頂，并逐漸漂浮在整個檢漏區(qū)。因此，汽車空調(diào)測漏設備，應該為泄漏測試區(qū)域提供足夠的通風。由于兩種泄漏檢測氣體都傾向于向上移動，因此建議從底部輸入新鮮空氣，從頂部向外排放氣體。

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