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臭氧殺菌的過程屬于生物化學氧化反應，其原理有三點，、氧化分解細菌內部葡萄糖所需的酶，使細菌滅活；16mg/m3，高濃度臭氧尾氣會危害人體健康、破壞周圍的構筑物。第二、直接與細菌、病毒作用，破壞它們的細胞器和DNA、RNA，使細菌的新陳代謝受到破壞，導致細菌；第三、透過細胞膜組織，侵入細胞內，作用于外膜的脂蛋白和內部的脂多糖，使細菌發生通透性畸變而溶解。 　　臭氧殺菌快速，但凡事有利有弊，如果單位空間里的臭氧濃度過高，個人健康會受到影響

臭氧的氣味讓人聯想到，許多人甚至可以發覺到空氣中濃度低至0.1  ppm的臭氧。臭氧的O3結構于1865年確定。該分子后來被證明具有彎曲結構并且是反磁性的。在標準條件下，臭氧是一種淡藍色氣體，在逐漸降低的低溫下會冷凝成深藍色液體，后變成紫黑色固體的。目前，臭氧殺菌的應用范圍很廣泛，、食品加工、水處理等領域都能看到臭氧殺菌的身影，而在日常生活中，洗衣機、冰箱、空氣凈化器、凈水器等等家電產品也會搭載臭氧殺菌的功能。臭氧相對于更常見的雙氧的不穩定性，使得高濃縮的臭氧氣體和液態臭氧都可能在高溫或快速升溫至沸點的情況下性分解。

氧是有毒氣體，為了確保安全，需要臭氧尾氣分解破壞裝置來取走未溶解的臭氧氣體并將其轉化為氧氣，這可由臭氧催化破壞裝置來實現。

未被吸收的臭氧氣體在每一個臭氧接觸室的出口被收集，由風扇將臭氧尾氣從接觸池中抽出，通過在臭氧接觸池的上部預埋的水洗消泡筒和水力噴射器，去除臭氧尾氣中的泡沫，再經尾氣除濕器去除煙霧后進入臭氧破壞裝置，尾氣經預熱被加熱，隨后進入催化反應區，在那里臭氧被催化分解。臭氧殺菌的過程屬于生物化學氧化反應，其原理有三點，、氧化分解細菌內部葡萄糖所需的酶，使細菌滅活。

催化分解型尾氣破壞主要包含：316L不銹鋼電子加熱器，催化罐，排風扇，電動閥， 控制箱， 溫度控制器，不銹鋼水洗消泡筒， 不銹鋼煙霧消除器