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發(fā)布時(shí)間:2021-01-20 13:45  
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多線(xiàn)切割機(jī)
近年來(lái),由于國(guó)家的重視,將極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專(zhuān)項(xiàng)課題列入國(guó)家重大科技專(zhuān)項(xiàng),另外,國(guó)內(nèi)有關(guān)設(shè)備制造企業(yè)也看到了這個(gè)巨大的商機(jī),大力投入人力物力開(kāi)展艱苦的研制開(kāi)發(fā),先以模仿為主,逐漸轉(zhuǎn)向自主創(chuàng)新,研制出有自身知識(shí)產(chǎn)權(quán)的多線(xiàn)切割機(jī)。市場(chǎng)上有專(zhuān)為材料研究人員而設(shè)計(jì),用于脆性材料樣品的精密切割機(jī)。
鄭州元素工具技術(shù)有限公司專(zhuān)業(yè)從事環(huán)形金剛石線(xiàn)鋸的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。我們堅(jiān)持技術(shù)為主、服務(wù)至上的經(jīng)營(yíng)理念,幫助廣大客戶(hù)解決了輪胎、光伏硅、藍(lán)寶石、陶瓷,大理石等一些硬脆材料切割行業(yè)的諸多問(wèn)題。在金剛石線(xiàn)切割領(lǐng)域,贏得了客戶(hù)的認(rèn)可和信賴(lài)。歡迎各行業(yè)前來(lái)咨詢(xún)合作。IC器件的基礎(chǔ)性材料是半導(dǎo)體硅單晶材料,因此,世界各國(guó)對(duì)硅單晶材料的消耗量反映了一個(gè)國(guó)家的IC制造業(yè)的規(guī)模和工藝水平,同時(shí)各國(guó)硅材料生產(chǎn)及硅圓片生產(chǎn)水平也代表了一個(gè)國(guó)家IC工業(yè)的材料基礎(chǔ)的實(shí)力。
金鋼線(xiàn)切割專(zhuān)用設(shè)備
目前,行業(yè)內(nèi)硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行金鋼線(xiàn)切割技術(shù)升級(jí)改造的方案主要有兩種:
1,,即在現(xiàn)有的傳統(tǒng)砂漿線(xiàn)設(shè)備基礎(chǔ)上,通過(guò)對(duì)設(shè)備內(nèi)部軟硬件進(jìn)行升級(jí)改造,從而滿(mǎn)足金鋼線(xiàn)切割工藝。
2.改造方案是直接采購(gòu)金鋼線(xiàn)切割專(zhuān)用設(shè)備。
基于金剛線(xiàn)本身性能與普通鋼線(xiàn)的差異,金剛線(xiàn)切割對(duì)切片機(jī)的設(shè)備提出了更高的要求。因此現(xiàn)有的主流砂漿線(xiàn)切割設(shè)備在不進(jìn)行改造的前提下,不能使用金剛線(xiàn)切割。

硅片切割設(shè)備
金剛線(xiàn)專(zhuān)用設(shè)備主要有進(jìn)口專(zhuān)機(jī)和國(guó)產(chǎn)轉(zhuǎn)機(jī),進(jìn)口專(zhuān)用設(shè)備的報(bào)價(jià)基本在350萬(wàn)到500萬(wàn)之間,代表廠商有梅耶博格MB-288、NTC PV600DT等設(shè)備;要求配備不同的轉(zhuǎn)速和進(jìn)給速度以及自動(dòng)化程度和各種工裝夾具的設(shè)計(jì)等等。國(guó)產(chǎn)金鋼線(xiàn)專(zhuān)用設(shè)備報(bào)價(jià)基本在200-240萬(wàn)之間,無(wú)論是國(guó)產(chǎn)專(zhuān)機(jī)還是進(jìn)口專(zhuān)機(jī),其前期投入均較大,且面臨原有設(shè)備閑置浪費(fèi)的風(fēng)險(xiǎn),因此,目前該方案主要適用于近期計(jì)劃新上硅片切割 設(shè)備廠家,如隆基、協(xié)鑫、阿特斯、比亞迪等近期新上的切片項(xiàng)目均采用的是金鋼線(xiàn)專(zhuān)用設(shè)備。

柔性切割
切割速度的選擇:
金剛石線(xiàn)鋸的切割屬于柔性切割,利用金剛石顆粒的硬度比被切割的材料堅(jiān)硬,切割過(guò)程中不銹鋼線(xiàn)上鍍有的金剛石顆粒層與被切材料進(jìn)行往復(fù)磨削,達(dá)到切割的目的。根據(jù)材料特性,一般硬度適中(莫氏硬度<9)的脆性材料切割速度可適當(dāng)快一些,如硅、石墨、壓電陶瓷、玻璃等。這是因?yàn)檫@些材料遠(yuǎn)沒(méi)有金剛石堅(jiān)硬,當(dāng)金剛石線(xiàn)與其進(jìn)行磨削時(shí)會(huì)很容易將材料磨削成顆粒進(jìn)而切割。當(dāng)切割金屬或混合型材料或者難于切割的陶瓷材料,切割速度要盡可能慢。相比電鍍金剛石鋸線(xiàn),樹(shù)脂涂層的剪切模量較低,鋸絲的扭切強(qiáng)度基本不變,更重要的是樹(shù)脂結(jié)合劑金剛石鋸絲制作工藝簡(jiǎn)單,生產(chǎn)成本低,生產(chǎn)效率高。
