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熱破壞是目前應用比較廣泛也是研究較多的有機廢氣治理方法 ,特別是對低濃度有機廢氣 ,有機化合物的熱破壞可分為直接火焰燃燒和催化燃燒。直接火焰燃燒是一種有機物在氣流中直接燃燒和輔助燃料燃燒的方法。多數情況下,有機物濃度較低 ,不足以在沒有輔助燃料時燃燒。直接火焰燃燒在適當溫度和保留時間條件下 ,可以達到 99%的熱處理效率。


吸收法是利用化學方法，在特殊化學物質的支持下，吸收溶解工業廢氣中的污染物，然后從吸收劑中分離出不同物理特性的污染物，并對其進行統一、科學的處理，達到凈化工業廢氣的目的。工業廢氣中污染物多的主要原因是工業原料沒有充分燃燒。但是，通過使用特定的催化劑，催化燃燒方法可以更充分地燃燒廢氣，消除有毒有害物質，避免污染大氣環境。該技術難以有效回收污染物，經濟效益差。


低溫非平衡態高能離子體是使分子活化的有效方法，它能使幾乎所有的分子激發、電離和自由基化，產生大量的活性基團，如 O2－、O、OH、O3 和高能量的自由電子。這些活性物種使得在通常條件下難以實現的反應可以很容易地在高能離子體系統中完成。尤其對空氣中污染物的脫除，可以在很短的時間內使其分解甚至完全分解。研究表明，等離子體分解空氣污染物可通過兩種途徑完成。

吸附法適宜處理成分單一、氣流穩定、濃度為300~5000ppm的有機廢氣，主要用于吸附回收脂肪和芳香族碳氫化合物、大部分含氯溶劑、常用醇類、部分酮類和酯類。

一般常規的吸附劑分為為顆粒活性炭和活性炭纖維兩種，適用于不同行業。用于溶劑回收常采用活性炭纖維。活性炭纖維的吸附性能主要是與其特別的物理性質有關。孔壁的總表面積一般高達1000 ~1600m2/g。