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發布時間:2021-06-24 05:43  
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直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。排風系統有一般排風系統、有機氣體排風系統、酸性氣體排風系統、堿性氣體排風系統等,凈化車間設計時,要根據實際情況選擇。布置工藝的流程盡可能短,減少交叉往復,、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室,除配備產品工序要求的用室外,還應配備潔具室、洗衣間、暫存室等,每間用室相互,凈化工程的面積應在保證基本要求前提下,與生產規模相適應。

在實際施工中,凈化項目通常分為,分工和分時。 這種安排有利于各種和工作類型的管理。 但是,易于進行多塵和無塵的交叉操作,應盡可能避免這種結構布置。 如果不可避免,應該防止灰塵和有效清潔。對不同潔凈度等級的潔凈室,產生粉塵和有害氣體的潔凈室,被排介質毒性大的、有易1燃易1爆氣體的崗位,應單獨設局部排風系統。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。

現在我們國家的經濟科技在發展,同時帶動了社會各行各業在告訴發展中。以凈化工程這個行業為例,在目前呈現一片喜人的發展態勢。排風系統有一般排風系統、有機氣體排風系統、酸性氣體排風系統、堿性氣體排風系統等,凈化車間設計時,要根據實際情況選擇。凈化工程在設計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關標準、規范進行。

凈化工程在設計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關標準、規范進行。潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。排風系統有一般排風系統、有機氣體排風系統、酸性氣體排風系統、堿性氣體排風系統等,凈化車間設計時,要根據實際情況選擇。
