光學(xué)微電子凈化工程一般包括：潔凈生產(chǎn)區(qū)潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)風(fēng)淋室管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)光學(xué)微電子凈化工程凈化原理氣流→初效空氣過(guò)濾器凈化→空調(diào)→中效空氣過(guò)濾器凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→空氣過(guò)濾器凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒→回風(fēng)百葉窗→初效空氣過(guò)濾器凈化重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。
深度解析過(guò)濾器的原理和技術(shù)特點(diǎn)，十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵凈化車間設(shè)備！為了滿足各種工業(yè)產(chǎn)品微細(xì)化、高精密度的要求，除了從潔凈室的布置、圍護(hù)和室內(nèi)裝飾以及凈化空調(diào)系統(tǒng)的形式、氣流流型等方面采用可靠的技術(shù)措施外，關(guān)鍵技術(shù)措施之一便是選用符合要求的空氣過(guò)濾器(HEPA)、超空氣過(guò)濾器(ULPA)。隨著潔凈技術(shù)的發(fā)展，空氣過(guò)濾器無(wú)論是過(guò)濾材料、結(jié)構(gòu)形式、密封材料、外框材質(zhì)以及檢測(cè)方法變化發(fā)展很快，尤其是集成電路生產(chǎn)的日新月異，要求生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到控制微粒直徑為0.05-0.1μm，空氣潔凈度等級(jí)要求1級(jí)甚至更為嚴(yán)格，并且還要控制生產(chǎn)環(huán)境中的分子級(jí)化學(xué)污染物、重金屬污染物等。
影響無(wú)塵凈化車間成本的幾大因素：空間因素有車間面積和車間層高兩個(gè)方面組成，它直接影響內(nèi)部裝修圍護(hù)的成本：彩鋼板隔墻及天花面積；空調(diào)投入成本：所需空調(diào)負(fù)荷的區(qū)域體積、空調(diào)的送回風(fēng)方式、空調(diào)的管路走向及空調(diào)末端的數(shù)量。除了空間、環(huán)境兩大塊要求之外，有些影響凈化車間達(dá)標(biāo)的因素經(jīng)常被設(shè)計(jì)方或者籌建商忽略，導(dǎo)致溫濕度超標(biāo)。比如，外界氣候考慮不、未考慮設(shè)備排氣量、未考慮設(shè)備發(fā)熱量、未考慮設(shè)備產(chǎn)塵量、未考慮大量人員同時(shí)工作產(chǎn)濕量等等。
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發(fā)布時(shí)間：2021-08-08 03:48
