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發布時間:2021-10-23 02:02  
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特氣管道系統 Special Gas Pipeline System 是指SiH4,NF3,Cl2 等一些具有高危險性,應確保安全性的特氣。公司提供從供氣系統;排氣處理、監視系統的綜合管理系統;建立以安全為第i一的特氣管理輸送系統。氣體管道安裝氣體管道(gaspipeline)包括控制閥門、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等,宜集中設在氣體入口室。提供設計、選型、制造、安裝、測試、調試和系統托管服務等整體解決方案。
特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。10、供氣系統安裝完成后,根據要求進行相關的強度測試、密封測試和穩定性測試。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精i確性和準確性。
工程項目覆蓋半導體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫i藥、各類實驗室、研究所、標準檢測等高科技行業;為客戶提供高純介質輸送系統全套解決方案;逐步成為行業領i先的整體系統供應商。
減壓器的使用要點
(1) 使用前應確認減壓器是完好的,并檢查有無油脂污染,特別是進口處的污物及灰塵等應及時清除。
(2) 檢查氣瓶是否有油脂污染,螺紋是否損壞,如發現有油脂或螺紋損壞,就不再使用該氣瓶,并將這些情況通知供氣單位,清除氣瓶閥(特別是閥口處)的油脂污染,修復螺紋。
(3) 把減壓器裝到氣瓶閥上,將輸入輸出接頭擰緊。
(4) 打開氣瓶閥前,先要把減壓器調節螺桿逆時針方向旋到調節彈簧不受壓力為止。
(5) 打開氣瓶閥前,先不要站在減壓器的正面或背面。氣瓶閥應緩慢開啟至高壓表指示出氣瓶內壓力。
(6) 順時針方向旋轉減壓器調節螺桿使低壓表達到所需的工作壓力。如果太高應旋松調節螺桿,放出一部分氣后重新調節。
(7) 當工作結束后,先關閉氣瓶閥,然后打開設備上的閥把減壓器內的氣體全部排出。接著把剛才打開的閥門關好,逆時針方向旋轉調節螺桿,一直到調節彈簧不受壓為止。
(8) 減壓器應妥善保存避免撞擊振動,不要放在露天和有腐蝕性介質的地方。
(9) 減壓器只能使用規定的氣體。

現在實驗室常會用到各類分析儀器,這些儀器都需要使用載氣和燃料氣,這些氣體的控制系統對于實驗人員和價格高昂的實驗器材的安全都是至關重要的。它必須確保這些氣體的穩定性和安全性。因此在氣體管路安裝過程中我們要注意腐蝕1)濕氣腐蝕例如HCL、CL2在有水存在時很容易腐蝕鋼瓶,水分的引入可能來源于客戶使用,沒有關閉閥門,也可能在充裝過程中或水壓檢驗中。多種分析儀器,如氣相色譜儀,原子吸收,氣—質聯用儀,ICP等等,這些儀器需要用到高純氣體,傳統的做法是采用獨立鋼瓶分散供氣的模式,這種供氣模式每臺儀器設備單獨配置氣體鋼瓶,分別滿足每臺儀器設備的使用,但隨著近年來實驗室投資的不斷加大,儀器設備的迅速增加,用氣量也逐年增加,傳統的供氣模式已經難以滿足儀器設備增加的需求,同時分散供氣模式帶來的實驗室布局混亂,鋼瓶的頻繁更換也對實驗室的管理和維護造成了困難。
目前主流氣路編排主要是實驗室集中供氣系統。
