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液體進入泵體

液體的突然侵入會導致羅茨真空泵的損壞，因為在快速冷卻的情況下，氣體不能達到所需的溫度以蒸發液體，并且蒸汽不能及時從泵中逸出。響應于這種情況，在處理室和羅茨泵之間需要以吸收進入泵的液體以防止損壞羅茨真空泵。

外部灰塵累積

在灰塵顆粒或灰塵的過程中，可以在真空泵的入口處安裝灰塵過濾器，以保護羅茨泵和下游泵。

羅茨真空泵需要以全音量水平運行。與旋片真空泵相比，羅茨真空泵不具有壓縮排氣壓力的內部壓縮功能。與旋片真空泵相比，所有與介質接觸的部件都是無油的，適用于羅茨真空泵的所有部件仍適用于干式真空泵。它結構緊湊，泵運行速度快。

真空泵在工作個月內，經100小時更換潤滑油，以后每個500小時，換油一次。

經常調整填料壓蓋，保證填料室內的滴漏情況正常(以成滴漏出為宜)。定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應及時更換。

真空泵長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉動部位及結合處涂以油脂裝好，妥善保管。真空泵在寒冬季節使用時，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質放凈。防止凍裂。

螺桿真空泵傳動部位磨損是常見問題，包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位磨損，傳統方法以補焊和刷鍍噴涂為主，但兩者均存在一定弊端，補焊高溫產生的熱應力無法完全消除，易造成材質損傷，導致部件出現彎曲或斷裂；而電刷鍍受涂層厚度限制，容易剝落，且以上兩種方法都是用金屬修復金屬，無法改變“硬對硬”的配合關系，在各力綜合作用下，仍會造成再次磨損。

單級旋轉葉片泵只有一工作室。該泵主要由定子、旋轉葉片和轉子組成。轉子偏心安裝在泵腔內，轉子槽內安裝有兩個旋轉板，由于彈簧彈力，轉子槽靠近氣缸壁(旋轉后旋轉葉片的離心力也是如此)。轉子和轉子把定子腔分成兩部分：吸入和排出。

當轉子在定子腔內旋轉時，進氣口的容積逐漸膨脹，吸入氣體，排氣口的"一"側的容積逐漸減小，以壓縮吸入的氣體，并將其從排氣門排出。