環保柜氦測漏設備

真空設備檢漏

如何判斷真空系統是否存在漏氣，通常采用靜態升壓法，即把容器抽到一定壓強后，關閉閥門將被抽容器與泵隔開，若容器漏氣或材料放氣，容器中的壓強將隨時間而上升。用真空計每隔一定時間計量一次容器中的壓強，可得出壓強/時間曲線。由于容器的漏氣與出氣情況不同，其曲線也不同

1.直線A

壓強不隨時間變化，說明系統即不漏氣，也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。

2.直線B

壓強期初上升很快，而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡，這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因為放氣速率隨壓強的升高和時間的延長而降低，故曲線漸趨向于平衡。

3.直線C

是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。

4.曲線D

開始壓強上升較快，而后漸漸減慢，后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認為是B和C的疊加。如果出現曲線C和D的情況，則判定系統有漏氣。

氮氣和氫氣的混合氣的用途

電子器件生產工藝中的應用在電子器件生產工藝中，為減少電能消耗，降低成本，都在研發和使用各種混合氣。其間，以使用氮氫混合氣為。用液氫和液氮汽化來取得氮氧混合氣的辦法，因為選用了液化后再汽化的工藝，故其投資和成本均較高。若從大型聯合企業的副產物取得液氫和液氮，其成本要比電解氫和“空分”氮取得的氫氣與高出幾倍。由液氨分解取得的氮氧混合氣，因為液氮來源不同，大多數質量較差，其間仍含有未分解的氨、水和氧等雜質。此外，液氮多來源于化肥廠，供應上較嚴重，故成本也較高。

氫氣

氫氣是性氣體。在密閉容器中，當氫氣與空氣混合，氫的含量為4％～75％，即形成炸的混合氣體。我國發電機運行規程規定：“一般要求發電機內氫氣純度保持在96％以上。低于此值時，應進行排污”

大容量氫冷發電機內要求保持高純度的氧氣，其主要目的是提高發電的效率，從經濟方面考慮。因為氫氣混入空氣或純度下降時，環保柜氦測漏設備，混合氣體的密度隨氫氣純度的下降而增大，使發電機的通風摩擦損耗也隨著氫氣純度的下降而上升。據美國GE公司介紹，一臺運行氫壓為0.5MPa、容量為907MW的氫冷發電機，其氫氣純度從98％降到95％時，摩擦相和通風損耗大約增加32％，即相當于損失685kW。一般情況下，當機殼內的氫氣壓力不變時，氫氣純度每降低1％，其通風摩擦損耗約增加11％。

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