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              發布時間:2020-12-21 19:17  

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              電子束鍍膜機介紹

              * 帶旋轉的傾斜沉積

              * 行星式基片夾具

              * 基片RF/DC偏壓

              * 基片清洗的離子源以及離子輔助蒸鍍

              * 附加物理沉積源(熱蒸鍍,磁控濺射)

              * 用于反應蒸鍍的MFC

              * 不同的泵組選擇,可升級分子泵為冷泵,前級泵為干泵

              * 進樣室和自動上下片/可支持單片和25片片夾

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              雙槍電子束鍍膜機介紹

              電子槍蒸發是到目前為止應用較多的一種蒸發方式,它可以蒸發任何一種鍍膜材料,它的工作方式是:將鍍膜材料放在坩堝里面,將蒸發源制作成燈絲形狀,采用一專門的控制柜,對燈絲加一強電流,高電壓,由于燈絲的材料是鎢,所以它會發熱,然后會發射電子,再采用一定的磁場將其聚集成一定形狀,并牽引到坩堝上,這樣就形成了一股電子束,由于電子束溫度非常高,可以熔化任何鍍膜藥材,當鍍膜藥材被電子束熔化后(有些材料是直接升華),藥材的分子(原子或者離子)在真空中成直線運動,然后遇到基板,就凝結下來,經過這種方式生長,形成薄膜!電子束蒸發鍍膜機的用途電子束蒸發沉積鍍膜設備,具有有機材料沉積和金屬材料沉積成膜功能。

              常用的有將電子束的偏轉角制作成270度,、或者運行軌跡為e型的e行電子槍或者電子束偏轉角180度,運行軌跡為c型的c型電子槍兩種。

              期望大家在選購電子束時多一份細心,少一份浮躁,不要錯過細節疑問。想要了解更多電子束的相關資訊,歡迎撥打圖片上的熱線電話!!!



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