檢漏設(shè)備廠家-銳誠真空

氦質(zhì)譜檢漏儀

待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中，當(dāng)出現(xiàn)意外情況，系統(tǒng)突然暴露大氣或真空度突然降低，導(dǎo)致大量的氣體突然進入電離室，真空度≥1x10-1Pa時，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發(fā)生了脆斷現(xiàn)象。

氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲壽命如何延長？有前面分析已知，造成氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦質(zhì)譜檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預(yù)置真空開關(guān)空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。

氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護

以下是深圳銳誠真空為您一起分享的內(nèi)容，深圳銳誠真空**生產(chǎn)氦檢漏設(shè)備，歡迎新老客戶蒞臨。

質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用，但是在長時間的使用過程中常常會出現(xiàn)一些故障和現(xiàn)象，從而影響設(shè)備的正常使用。

檢漏儀的故障和處理

1 內(nèi)部的泄漏

當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。

2 本底信號不穩(wěn)定

1）本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng)，降低環(huán)境本底。

2）本底信號過高也有可能是因為質(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進行清洗，檢漏設(shè)備廠家，本底信號不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。

3）本底信號不穩(wěn)定，檢查泵油是否渾濁，被污染。

3 設(shè)備的分子泵不啟動

分子泵不啟動，主要有檢查供電和前級真空是否正常（較常見的是前級真空機械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動）。或者是分子泵本身因振動和粉塵污染造成的損壞。

4 設(shè)備的質(zhì)譜室不能正常工作

質(zhì)譜室主要是燈絲無法正常加電，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。

5 前級機械泵工作不正常

主要經(jīng)常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會使油色變黑，水汽會使油色呈現(xiàn)乳白色，都將導(dǎo)致機械泵工作不正常。另外過低的溫度會使機械泵油粘稠度增加無法啟動，過高的溫度也會使機械泵產(chǎn)生熱保停止工作，使用機械泵的環(huán)境溫度在 10至 40之間使用。

如何選擇真空檢漏儀

一．對檢漏方法的一般要求

1.檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；

2.反應(yīng)時間短，可以提高工作效率；

3.能定位、定量，即不經(jīng)能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；

4.能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；

5.穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠；

6.所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；

7.檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測到，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費用；

8.檢漏時潔凈無油，滿足一些特殊的要求

二．選擇真空檢漏儀檢漏方法的原則

1.主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個單個漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11w，而必須選用的檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W；

2.根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，經(jīng)濟實用。

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