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              發布時間:2021-10-27 05:40  

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              微光顯微鏡光發射顯微鏡是器件分析過程中針對漏電失效模式,的分析工具。器件在設計、生產制造過程中有絕緣缺陷,或者期間經過外界靜穿,均會造成器件漏電失效。漏電失效模式的器件在通電得狀態下,內部形成流動電流,漏電位置的電子會發生遷移,形成電能向光能的轉化,即電能以光能的方式釋放,從而形成200nm~1700nm紅外線。光發射顯微鏡主要利用紅外線偵測器,通過紅外顯微鏡探測到這些釋放出來的紅外線,從而的定位到器件的漏電點。


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