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發(fā)布時(shí)間:2021-09-15 05:54  
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(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤(rùn)滑,可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染;(4)泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊,對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;(5)壓縮比較低,對(duì)氫氣抽氣效果差;(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。
在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的佳工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級(jí)泵的極限真空度低50%。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。
根據(jù)使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類:(1)一般水泵,壓強(qiáng)可達(dá)到1.333~100kPa(10~760mmHg)為"粗"真空。(2)油泵,壓強(qiáng)可達(dá)0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為"次高"真空。(3)擴(kuò)散泵,壓強(qiáng)可達(dá)0.133Pa以下,(10-3mmHg)為"高"真空。若要較低的壓力,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。