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氦質譜檢漏儀熱管檢漏

熱管

熱管 (Heat Pipe) 是利用熱傳導原理與致冷介質的快速熱傳遞性質，透過熱管將發熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外，其導熱能力超過任何已知金屬的導熱能力。熱管技術目前廣泛應用于計算機、各類電器等設備散熱，常見的形狀有圓管狀，板塊狀 (VC 單體) 等。

熱管需要檢漏原因：

熱管內部填充特殊液體用來增強熱傳導性能，如果熱管本身存在漏點，首先會影響熱管的導熱性能；其次由于熱管都是安裝在設備內部，如果發生泄漏，里面封裝的液體就會流出，嚴重污染和影響設備的正常運轉，所以熱管生產企業，都會采用 氦質譜檢漏儀對熱管進行檢漏。

熱管檢漏客戶案例：某電子股份公司，是世界 IT 產業 500 強之一，分公司及營業處遍及美國、日本、歐洲、蘇格蘭、新加坡等地，員工近 90000人。該企業是較大的電源供應器制造商，市場占有率達 25% 以上。

熱管檢漏方法：

該企業熱管出廠前標準漏率合格線是 E-8 mbarl/s，使用氦質譜檢漏儀檢漏時，設定 E-8 為報警值，當漏率低于該值時產品是合格的，當漏率高于此值，檢漏儀發出聲光警報，說明產品有漏。

熱管采用檢漏儀的真空檢漏模式，因為產品沒有抽真空的標準接口，上海伯東根據客戶實際情況定制真空夾具，一頭連接檢漏儀，一頭連接產品，具體做法如下：

1.啟動氦質譜檢漏儀，裝上夾具

2.將熱管插入夾具，并用真空封泥封堵

3.按下檢漏儀啟動鍵，開始抽真空

4.在產品周圍噴氦氣，空調測漏設備，以 E-8 mbarl/s 為合格線

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氦質譜檢漏儀的校準方法

氦質譜檢漏儀廣泛應用于制冷行業、核工業、電子行業、真空行業、電力行業、航空航天等行業。根據其工作原理和技術性能指標，通過實驗，總結通過氦質譜檢漏儀對其漏率校準的方法。

氦質譜檢漏儀原理:

氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，電力中高壓真空箱測漏設備，根據不

氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統和電氣部分等組成。

氦質譜檢漏儀的內部一般有標準漏孔，測漏設備，可將標準漏孔拆卸進行校準，如果不能單獨校準標準漏孔，就可考慮直接通過氦質譜檢漏儀進行漏率部分的校準，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準方法。

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氦質譜檢漏儀行業應用

質譜儀又稱質譜計。分離和檢測不同同位素的儀器。即根據帶電粒子在電磁場中能夠偏轉的原理，按物質原子、分子或分子碎片的質量差異進行分離和檢測物質組成的一類儀器。質譜儀按應用范圍分為同位素質譜儀、無機質譜儀和有機質譜儀。按分辨本領分為高分辨、中分辨和低分辨質譜儀；按工作原理分為靜態儀器和動態儀器。

氦氣，是一種稀有氣體，英文名為Helium，元素符號為He，原子序數2。為無色無味的惰性氣體，化學性質不活潑，一般狀態下很難和其它物質發生反應。常溫下，氦氣是一種極輕的無色、無臭、無味的單原子氣體。是所有氣體中難液化的，是不能在標準大氣壓下固化的物質。液化后溫度降至2.174K時，具有表面張力很小、導熱性很強、黏度極低等特殊性質。利用液態氦可以得到接近零度的低溫

氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，電力真空箱測漏設備，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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