環(huán)形砂線-【元素工具制造商】-噪音小環(huán)形砂線

我國晶圓芯片加工進入大規(guī)模發(fā)展的黃金時代，其上游的晶圓切割加工鏈中仍然為大量的金剛石帶鋸所占據(jù)。

目前晶圓直徑正向更大方向發(fā)展，從原來的 8、10、12、15 英寸甚至到了 20 英寸，越大越適合環(huán)形砂線切割，如圖 17，某晶圓芯片公司的 Φ350mm 晶圓在環(huán)形砂線立式機切片，效果十分滿意，其工藝參數(shù)為:

線速度 38m / s，環(huán)形砂線，進給速度 15 ～ 30mm / min，切割面精度 0．02 ～ 0．05μm，揚塵小環(huán)形砂線，片厚 2 ～ 5mm。

環(huán)形電鍍金剛石線

隨著工件進給速度的增大，大理石表面粗糙度值增加。造成這一現(xiàn)象的原因是工件進給速度的增大使得鋸絲與工件之間的作用力增大，這樣就增加了單個磨粒的切削深度，表面質(zhì)量降低。

用環(huán)形電鍍金剛石線鋸鋸切大理石時，要獲得較好的表面粗糙度，噪音小環(huán)形砂線 ，又要得到較高的切割效率，工 件進給速度為１０ｍｍ／ｍｉｎ，鋸 絲線速度為 ３０ｍ／ｓ，鋸 絲張緊力為１００Ｎ 是較好的切割工藝。

元素工具進行了大量的切割實驗，耐用環(huán)形砂線 ，實驗結(jié)果表明：金剛石線運行速度，進給速度，張緊配重對切割表面質(zhì)量都有不同程度的影響。由試驗結(jié)果可以看出，環(huán)形金剛石線鋸切割藍寶石表面切割線速度是切割工藝中一個重要的參數(shù)，特別是對于金剛石工具而言。金剛石工具在高速運行的情況下，單位面積去除率極高體現(xiàn)其優(yōu)越性能

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