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              常德無塵室車間設(shè)計(jì)施工廠家常用解決方案「云潔凈化」

              發(fā)布時(shí)間:2021-09-17 20:01  

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                  潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。






                  我國(guó)的潔凈室工程開始于20世紀(jì)60年代初,在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導(dǎo)體集成電路用潔凈室的規(guī)劃、建造開展很快,相繼建成一批潔凈廠房,并研制成功100級(jí)單向流潔凈室;與此同時(shí),潔凈廠房用設(shè)備和資料,如過濾器,潔凈工作臺(tái)、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功,并投入出產(chǎn),雖然制作質(zhì)量和某些工程指標(biāo)與世界水平尚有差距,但已能滿足國(guó)內(nèi)部分需求,到20世紀(jì)70年代末我國(guó)潔凈室規(guī) 劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。





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