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亂流式此種方式是讓空氣通過空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈車間內(nèi)之空氣過濾

亂流式

此種方式是讓空氣通過空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈車間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈車間，并由潔凈車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。此型式適用于潔凈車間等級1,000-100,000級。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。

優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈車間的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈車間等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。

復(fù)合式ULSI制程大都采用此種型式

復(fù)合式

此種方式是為了將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1．裝局部潔凈車間：將潔凈車間等級10,000~100,000之亂流潔凈車間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

2．凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

3．凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：①彈性擴充容易;②維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

無塵室要按級別區(qū)別,沒有正壓的原因

要是沒有得話能夠選用戶外代過慮氣的大中型家用新風(fēng)系統(tǒng)，房間內(nèi)就能維持正壓。無塵室要按級別區(qū)別，級別是依據(jù)房間內(nèi)的清潔換風(fēng)來區(qū)別，依據(jù)房間內(nèi)尺寸及規(guī)定操縱離心風(fēng)機送排風(fēng)量及工作壓力，送風(fēng)尺寸及其補新風(fēng)系統(tǒng)都是有一定的規(guī)定測算。

沒有正壓的原因：1.正壓是表明凈化處理車間抑止根據(jù)窗門間隙環(huán)境污染室內(nèi)空氣質(zhì)量的工作能力，或在短期內(nèi)開啟窗門時使?jié)B透到房間內(nèi)的空氣污染物降低到少程度的工作能力，正壓尺寸表明抑止環(huán)境污染工作能力的高低，自然并不是正壓越大越好(后邊將提到)。2.正壓需要的排風(fēng)量比較有限，5Pa正壓與10Pa正壓所需排風(fēng)量僅差約1次/h，不妨一試呢?顯而易見正壓值低限取l0Pa更優(yōu)越些。3.美國規(guī)范(FS209A~B)要求:當(dāng)全部進出口關(guān)掉時，凈化處理車間與一切鄰近的低潔凈度等級地區(qū)中間的少正壓差為0.05英尺水流(12.5Pa)，這標(biāo)值已被很多我國選用。

凈化車間門扇的打開頻次遠比較經(jīng)常

凈化車間門扇的打開頻次遠比較經(jīng)常，而凈化車間門扇附近間隙的工作中標(biāo)準(zhǔn)也非常復(fù)雜，以雙扇推拉窗凈化車間門為例子，凈化車間門的打開扇更高，并且樘與洞邊的融合經(jīng)室內(nèi)裝修后較為隱敝，裝門鉸鏈的一邊則因扇的轉(zhuǎn)動而對膛的施力方向與別的三邊不一樣。打開扇與扇料互相鋼筋搭接的槽孔規(guī)格與槽孔方式難題，是主題活動間隙密封性設(shè)計方案小務(wù)必留意的關(guān)鍵難題。村局、窗戶所占占比也不一樣。因此凈化車間門、窗閉采用的氣密性對策都不完全一致。

凈化車間的門一般向壓力差高的打開，可是清理間和污染較高屋子一般向屋子里側(cè)打開。為了更好地好了解，把過道也假定成屋子，那麼，門的開向，一般全是，開門的方向朝較整潔的一個。盡可能開向壓力差高的方向，那樣即便門鎖壞掉都不至被吹起毀壞潔凈度等級，對于特別要求的屋子自身酌情考慮

過道得話盡可能箱屋子里側(cè)開避免開門的情況下過道有些人根據(jù)立即給拍在哪了。