腐蝕設備面板加工廠-腐蝕設備面板加工-茂美加工廠歡迎致電

廣州市茂美標牌加工廠，座落于番禺區橋南街陳涌工業區，專注于腐蝕面板加工，腐蝕面板定制，機械控制面板定做，不銹鋼蝕刻面板加工，機械面板腐蝕定制，設備蝕刻面板加工，腐蝕機械面板定制，機箱設備面板定制、電子秤按鍵面板定做等，腐蝕設備面板加工廠，接單領域主要集中在廣州、深圳 、佛山 、東莞、中山、珠海、江門、肇慶、惠州等地，腐蝕設備面板加工，均可加工定制生產。產品還有腐蝕標牌，不銹鋼直尺加工、鋁銘牌制作、不銹鋼銘牌制作、機械設備控制面板、亞克力標牌等。制作工藝：UV印刷、噴漆、絲印、熱轉印、凹凸，沖壓、磨光、拉絲、電鍍、氧化、噴砂、激光、注塑、磨光、電鑄、腐蝕等一體化的大型**標牌加工制作廠。

廣州市茂美標牌加工廠——廣州腐蝕面板加工，廣州腐蝕面板定制，廣州機械控制面板定做，機箱設備面板定制等。

浸泡式（Dip，也有稱為“多片直立浸泡式”）設備構造相對簡單、單套建造成本較低。能滿足相對較多片產品的同時減薄。設備裝置體積相較大，外圍容易產生沉淀物和白色粉末。蝕刻液的鼓泡均勻情況不易控制。注：浸泡式蝕刻減薄設備構造等相關介紹，可參見《淺析LCD玻璃基板浸泡式蝕刻減薄系統的設備主要構造和改進》

噴淋式（Spray，也有稱為“側噴式”）

可以處理兩面不同蝕刻要求。蝕刻液可有效回收利用，相對成本較低。蝕刻產品表面易產生凹點（dimple），需要后續拋光處理。產品若未完全直立，由于壓力控制等原因，容易發生破片和蝕刻不均勻的現象。

廣州市茂美標牌加工廠——廣州不銹鋼蝕刻面板加工，廣州機械面板腐蝕定制，設備蝕刻面板加工，腐蝕機械面板定制等。

Dry etching（干蝕刻）將特定氣體置于低壓狀態下施以電壓，將其激發成各種不同的帶電荷離子、原子團、分子以及電子（這種物質狀態稱為Plasma）并利用這些解離后帶能量的反應性的離子及原子團，對特定層膜加以化學性的蝕刻及離子轟擊，達到膜層去除的一種蝕刻方式。

Dry etching中起作用的主要是radical和ion。Radical是電中性，因為化學性質很活潑，所以和膜表面分子發生反應，可達到膜層去除的作用。反應生成物作為gas被排氣。

帶正電的ion被selfbias的負電位吸引幾乎垂直撞向基板，腐蝕設備面板加工哪家好，轟擊膜層表面的分子鍵合，促進radical的化學反應，并使表面產生的反應物脫落。

廣州市茂美標牌加工廠，座落于番禺區橋南街陳涌工業區，專注于腐蝕面板加工，腐蝕面板定制，機械控制面板定做，不銹鋼蝕刻面板加工，機械面板腐蝕定制，設備蝕刻面板加工，腐蝕機械面板定制，機箱設備面板定制、電子秤按鍵面板定做等，接單領域主要集中在廣州、深圳 、佛山 、東莞、中山、珠海、江門、肇慶、惠州等地，均可加工定制生產。產品還有腐蝕標牌，不銹鋼直尺加工、鋁銘牌制作、不銹鋼銘牌制作、機械設備控制面板、亞克力標牌等。制作工藝：UV印刷、噴漆、絲印、熱轉印、凹凸，沖壓、磨光、拉絲、電鍍、氧化、噴砂、激光、注塑、磨光、電鑄、腐蝕等一體化的大型**標牌加工制作廠。

廣州市茂美標牌加工廠——廣州腐蝕面板加工，廣州腐蝕面板定制，廣州機械控制面板定做，機箱設備面板定制等。

本實用新型涉及干法刻蝕技術，特別涉及一種干法刻蝕設備。

技術背景 圖I為現有干法刻蝕設備的結構示意圖，如圖I所示，干法刻蝕設備包括反應腔(Chamber) 5，設置于反應腔(Chamber) 5上的墊板4、以及設置于反應腔(Chamber) 5中的擋光板I?，F有的干法刻蝕設備在對玻璃(Glass)基板進行刻蝕的工藝中，由于設備的上部電極結構復雜以及設備老化等原因，經常會出現墊板4斷裂以及其他零部件損壞而導致反應腔(Chamber) 5真空泄露(Leak)的現象，由此，大氣會進入反應腔(Chamber) 5內部，大氣中的氮氣等與反應腔(Chamber) 5內的氣體混合，混合后氣體顏色會由藍色變成紅色或黃色，出現顏色異常。現有結構無法對等離子體(Plasma)顏色進行監控，導致在后工序才能發現，這會嚴重影響良品率。

廣州市茂美標牌加工廠——廣州不銹鋼蝕刻面板加工，廣州機械面板腐蝕定制，設備蝕刻面板加工，腐蝕設備面板加工工廠，腐蝕機械面板定制等。

在集成電路制造工藝中，刻蝕是用化學或物理方法有選擇地從硅表面去除不需要的材料，在硅片上所需圖形的后圖形轉移的工藝步驟。干法蝕刻和濕法蝕刻是半導體制造中兩種基本的刻蝕工藝。干法蝕刻各向異性可以實現細微圖形的轉換，滿足越來越小的尺寸要求，已成為亞微米及以下尺寸主要的蝕刻方式。在實際生產中，公司追求產能和良率。就二氧化硅的干法蝕刻而言，需要優化諸如蝕刻速率、均勻性、選擇比等蝕刻參數。因在蝕刻過程中，刻蝕的理想條件經常漂移，工藝工程師不僅需設定優化蝕刻效果的蝕刻菜單，還需在理想條件漂移時及時做出調整。本文選取了影響蝕刻效果的主要工藝參數，如射頻、壓力、蝕刻氣體等做正交試驗，確定其具體的影響程度，為參數設置和調節提供依據。

廣州市茂美標牌加工廠，座落于番禺區橋南街陳涌工業區，專注于腐蝕面板加工，腐蝕面板定制，機械控制面板定做，不銹鋼蝕刻面板加工，機械面板腐蝕定制，設備蝕刻面板加工，腐蝕機械面板定制，機箱設備面板定制、電子秤按鍵面板定做等，接單領域主要集中在廣州、深圳 、佛山 、東莞、中山、珠海、江門、肇慶、惠州等地，均可加工定制生產。產品還有腐蝕標牌，不銹鋼直尺加工、鋁銘牌制作、不銹鋼銘牌制作、機械設備控制面板、亞克力標牌等。制作工藝：UV印刷、噴漆、絲印、熱轉印、凹凸，沖壓、磨光、拉絲、電鍍、氧化、噴砂、激光、注塑、磨光、電鑄、腐蝕等一體化的大型**標牌加工制作廠。

廣州市茂美標牌加工廠——廣州腐蝕面板加工，廣州腐蝕面板定制，廣州機械控制面板定做，機箱設備面板定制等。

設備構造主要材料和操作環境和其他蝕刻減薄設備一樣，為了抗酸腐蝕，設備主體大多采用PVC/PP耐酸腐蝕材料作為設備長期暴露于腐蝕環境中的關鍵部位的表面材料。采用自動化電氣控制等系統，水封閉模式。生產過程中減少人工操作環節，有效避免與蝕刻藥液的直接接觸，生產安全系數較高。頂噴式的主要構造單元分為控制系統上下料裝置清洗單元蝕刻單元液體循環供給和過濾系統.

廣州市茂美標牌加工廠——廣州不銹鋼蝕刻面板加工，廣州機械面板腐蝕定制，設備蝕刻面板加工，腐蝕機械面板定制等。

控制系統

頂噴式蝕刻減薄設備采用PLC電氣控制系統，自動化集成程度較高。系統分為：控制層和操作管理層。通過智能設備和PLC去控制生產工藝參數，智能化的機械運作，x大化的實現無人職守操作模式。

控制系統控制電機、氣缸和閥門等設備自動化運作，同時根據實際作業需求可實現自動在線檢測管路壓力、流量和罐體液位，以及藥液濃度和產品在線厚度等，自動調整生產參數，優化即時生產需求。

上下料裝置

蝕刻產品通過特定的匣具轉載實現多片減薄，并可通過自動或人工方式輸送蝕刻設備中，實現上料和下料。

腐蝕設備面板加工廠-腐蝕設備面板加工-茂美加工廠歡迎致電由廣州市番禺區橋南茂美工藝品加工廠提供。廣州市番禺區橋南茂美工藝品加工廠擁有很好的服務與產品，不斷地受到新老用戶及業內人士的肯定和信任。我們公司是商盟認證會員，點擊頁面的商盟客服圖標，可以直接與我們客服人員對話，愿我們今后的合作愉快！