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負壓潔凈室設(shè)計問題a

　負壓潔凈室設(shè)計問題

a) 平面布局

安全生產(chǎn)過程與生產(chǎn)工藝和廠房的平面布局密切相關(guān)。合理的平面布置和嚴格的區(qū)域劃分既能防止交叉污 染，又能方便生產(chǎn)操作。所以，有毒區(qū)域和無毒區(qū)域相互 聯(lián)系又各自獨立，決不允許交叉污染。整個潔凈生產(chǎn)廠房 的設(shè)計應(yīng)嚴格按照生產(chǎn)工藝流程走向，盡量減少生產(chǎn)過程的迂回、往返和交叉。合理的平面布局和人、物流走 向在能有效控制交叉污染的風(fēng)險前提下，也能使空調(diào)系統(tǒng) 設(shè)計更科學(xué)，污染控制功能更簡化，并能降低造價和運行 費用，且相應(yīng)管理制度更容易被執(zhí)行。

變頻排風(fēng)機組的保護措施

c) 變頻排風(fēng)機

排風(fēng)機組是形成負壓的關(guān)鍵因素，在選擇上不僅要考慮其排風(fēng)量和風(fēng)機全壓，還要考慮其隔離的能力。目前，有兩種形式的保護措施。一是在排風(fēng)管上安裝“袋進袋出” 過濾風(fēng)管段，二是采用內(nèi)置了 F8 中效過濾器和 H14 過 濾器組的排風(fēng)機組。按規(guī)范要求，還必須能對過濾器進行檢漏檢測?？紤]到節(jié)能、風(fēng)量和潔凈室壓差的恒定問題， 排風(fēng)機組內(nèi)好采用變頻控制的電機。如有條件，排風(fēng)機 組還可設(shè)計成兩套排風(fēng)機組“一用一備”，供電采用雙回 路供電并增加不間斷電源進行保護，且空調(diào)自控系統(tǒng)要對排風(fēng)機組的開啟、關(guān)停、切換等設(shè)置合理的控制程序。

電子凈化車間對靜電要求極其嚴格

潔凈度等級要求高,風(fēng)量、 溫度、 濕度、 壓差、 設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、 凈化車間截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控， 另外該類凈化車間對靜電要求極其嚴格。 其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電， 造成 CMOS 集成損壞。 一般來說， 電子凈化車間的溫度應(yīng)控制在 22℃左右， 相對濕度控制在 50-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。 這時可有效地消除靜電， 并使人也感覺舒適。 芯片生產(chǎn)車間、 集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)凈化車間的重要組成部分， 由于電子產(chǎn)品在制造、 生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格， 主要以控制微粒和浮塵為主要對象， 同時還對其環(huán)境的溫濕度、 新鮮空氣量、 噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。